2002 Fiscal Year Annual Research Report
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12650018
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| Research Institution | SAITAMA INSTITUTE OF TECHNOLOGY |
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Principal Investigator |
根岸 利一郎 埼玉工業大学, 人間社会学部・情報社会学科, 講師 (70237808)
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| Keywords | X線動力学回析 / 共鳴散乱 / X線トポグラフ / 放射光 / 構造評価 / 半導体 / 格子欠陥 / 転位 |
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| Research Abstract |
当研究の目的は共鳴散乱を伴うX線動力学回折に特徴的なボルマン効果を利用することによって結晶中のミクロな欠陥や格子歪みによって観測されるロッキングカーブや,トポグラフのコントラストの変化から結晶の構造評価法の基礎を解明しようとするものである。
平成14年度は平成13年度の研究と今年度の結果を併せ,X線トポグラフおよびロッキングカーブの観測結果を物理的に解析し,この間の研究の成果をまとめて関連学会誌に発表した。
ブラッグの場合についての試料は,結晶の種類と厚さ・回折条件・入射X線のエネルギーなどをシミュレーションによって観測に都合の良い条件を割り出し,その結果によって高エネルギー加速器研究機構物質構造科学研究所・フォトンファクトリー(KEK-PF)での実験に都合のよい試料を電解研磨装置ほかを使って作製した。
共鳴散乱が主となる実験はシンクロトロン放射光を利用することにより,結晶の吸収端付近において比較的容易に実現できる.このために,学内でのX線回折装置でトポグラフの予備実験を行い,久陥のある場所と目標に目途をつけておく。次いでKEK-PFの放射光を利用してシミュレーションで得られたエネルギーで多くのロッキングカーブとトポグラフを観測した。
観測したロッキングカーブとX線トポグラフの結果に対して共鳴散乱動力学理論を用いて解析した結果,共鳴散乱による欠陥部のトポグラフに現れるコントラスト変化と格子歪みとの間に一定の関係のある知見を得ることができた。
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