2000 Fiscal Year Annual Research Report
電子線トモグラフィ法による高周波微小空間漏れ磁界分布の3次元画像化計測
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12650421
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| Research Institution | Nagaoka University of Technology |
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Principal Investigator |
松田 甚一 長岡技術科学大学, 工学部, 教授 (30029087)
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| Co-Investigator(Kenkyū-buntansha) |
和田森 直 長岡技術科学大学, 工学部, 教務職員 (60303179)
加藤 和夫 長岡技術科学大学, 工学部, 助教授 (80115104)
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| Keywords | 磁気ヘッド / 高周波漏れ磁界 / 3次元磁場計測 / 電子線トモグラフィ / 反射電子ビーム / 電子線位置検出 / 偏向量計測 / 再構成アルゴリズム |
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| Research Abstract |
本研究では、サブμmオーダーのギャップを持つ高密度記録用磁気ヘッドのヘッド極近傍における高周波漏れ磁界分布の高精度3次元計測技術の実現を目的としている。
以下に、本年度の主な成果を示す。
1.高周波電子ビーム偏向計測装置の設計・試作ならびに計測電子回路系の設計・試作
試料微動装置ならびに高精度電子ビーム位置検出器からなる高精度高周波電子ビーム偏向計測装置を設計・試作し、現有の3次元静磁界計測装置に組み込んだ。さらに、パルス電子ビームの偏向量を正確に計測するための同期回路系を設計・試作した。試作装置の納入予定時期が遅れたため、現在これらの機器の調整を行っている。
2.高周波電子線トモグラフィの再構成アルゴリズムの開発・評価
磁気ヘッド表面に電子ビームを直接に入射し、反射した電子ビームの高周波磁界による偏向量計測データから断層撮像手法に基づき、実際に磁気ヘッドギャップ近傍に広がる高周波漏れ磁界分布を3次元的に再構成するためのアルゴリズムを開発した。そして、コンピュータ・シミュレーション手法により、本アルゴリズムによる高精度3次元計測の可能性を確認した。
3.高周波漏れ磁界分布計測の基礎実験
上記1.で設計・試作した計測装置の納入が予定していた時期よりも遅れたため、実際に計測するまでには至らなかったが、電子ビーム位置検出精度、空間分解能などについての基礎的な評価項目については、その妥当性を確認した。
現在、磁気ヘッドを用いた偏向量計測の準備を進めている。
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Research Products
(1 results)
