光音響顕微鏡システムによる新素材内部欠陥の高速3次元計測法の開発

2000 Fiscal Year Annual Research Report

• Project/Area Number: 12750393
• Research Institution: Kanazawa Technical College
• Principal Investigator: 南出 章幸 金沢工業高等専門学校, 電気工学科, 講師 (20259849)
• Keywords: 光音響顕微鏡システム / 3次元計測 / 非破壊検査 / 材料評価 / 拡張同時多周波数計測法

Research Abstract

(1)拡張同時多周波数計測法を使う3次元画像化の検討
光音響信号の新しい高速測定法(拡張同時多周波数計測法)を提案し、この拡張同時多周波数計測法を3次元画像計測に適用するために見直しを図った。
(2)拡張同時多周波数計測法を導入するためのハードウェアの構築
拡張同時多周波数計測法を光音響顕微鏡システムに組み込むため、(1)レーザダイオード、(2)光を強度変調するためのマルチファンクションシンセサイザ、(3)信号を観測するためのBoxcar積分器を組み込んだ。
(3)計測・制御処理ソフトの開発
(2)で構築した新しいシステムを正確に動作させるための計測・制御処理ソフトを開発した。