2002 Fiscal Year Annual Research Report
| Project/Area Number |
13026209
|
|---|
| Research Institution | Yokohama National University |
|---|
Principal Investigator |
多田 邦雄 横浜国立大学, 大学院・工学研究院, 教授 (00010710)
|
|---|
| Co-Investigator(Kenkyū-buntansha) |
盧 柱亨 横浜国立大学, 大学院・工学研究院, 助手 (50313474)
荒川 太郎 横浜国立大学, 大学院・工学研究院, 助教授 (40293170)
羽路 伸夫 横浜国立大学, 大学院・工学研究院, 助教授 (30180920)
|
|---|
| Keywords | 光制御デバイス / 光変調器 / 光スイッチ / ポテンシャル制御量子井戸 / 5層非対称系結合量子井戸 / 分子線エピタキシー法 / ECRドライエッチング |
|---|
| Research Abstract |
本研究では,ポテンシャル制御量子井戸の一つである5層非対称結合量子井戸(FACQW)の作製およびFACQWを用いた超広波長帯・超高速光変調デバイスの実現を目指している.
3年間の本格研究活動の第2年度にあたる本年度は,以下の研究を行った.
1.GaAs/AlGaAs-FACOW位相変調器構造の作製
FACQWにおける巨大な屈折率変化特性を実証するため,GaAs/AlGaAs-FACQWを光導波路に用いた位相変調器構造の作製プロセスの研究および測定系の構築を行った.
2.長波長用FACQWの作製および特性評価
光通信用長波長帯FACQWの作製を目指し,InP基板上へのInGaAs/InAlAs系材料のMBE結晶成長条件の最適化等を行い,高品質InGaAs/InAlAs量子井戸構造の作製に成功した.これにより,長波長帯FACQW作製の見通しがついた.
3.GaAs/AlGaAs-modified FACQWを有する光変調器の作成と特性評価
透明波長領域で負の巨大な屈折率変化特性が得られるGaAs/AlGaAs-modified FACQW構造について,光吸収電流特性測定を行い,理論計算結果と傾向が一致することが明らかにした.
4.長波長用FACQWの電界誘起屈折率効果の解析
バンド混合効果を考慮したk・p摂動法によるInGaAs/InAlAs-FACQWバンド構造の理論計算を行い,より正確に長波長用FACQWの特性解析を行った.
5.光制御デバイス作製法の研究
光制御デバイスの作製のため,メタン・水素/酸素交互供給によるInP, InGaAs, InAlAsなどで構成される多層薄膜およびGaNのECR-RIEエッチングについて研究し,良好な表面平滑性と端面垂直性を得るためのプロセス条件を確立した.
|
Research Products
(6 results)
-
[Publications] N.Haneji, G.Segami, K.Ide, T.Suzuki, T.Arakawa, K.Tada, et al.: "Electron Cyclotron Resonance-Reactive Ion Etching of III-V Semiconductors by Cyclic Injection of CH_4/H_2/Ar and O_2 with Constant Ar Flow"Jpn. J. Appl. Phys.. 42,6B(掲載予定). (2003)
-
[Publications] T.Arakawa, K.Tada, R.Iino, T.Suzuki, J.H.Noh, et al.: "Electrorefractive Properties of Modified Five-Layer Asymmetric Coupled Qunatum Well (FACQW)"Abstracts of 4^<th> International Conference on Low Dimensional Structures and Devices (LDSD 2002). TuO-7 (2002)
-
[Publications] Kunio Tada, Taro Arakawa, Tatsuya Suzuki, et al.: "Possibility of Compact and Low-Voltage Optical Switches at 40 Gb/s and beyond (Invited)"Technical Digest of 2002 International Topical Meeting on Photonics in Switching. 66-68 (2002)
-
[Publications] Kunio Tada, Taro Arakawa, Joo-Hyong Noh, et al.: "Ultra-Wideband Ultra-Fast Quantum Well Optical Modulators (Invited)"Technical Digest of 7^<th> Optoelectronics and Communication Conference (OECC 2002). 516-517 (2002)
-
[Publications] J.H.Noh, T.Arakawa, K.Tada, Y.Okamiya, T.Suzuki, et al.: "Application of Migration Enhanced Epitaxy (MEE) Method to Fabricating Five-Layer Asymmetric Coupled Quantum Well (FACQW)"Short abstracts of 7^<th> International Conference on Nano-meter-scale Science and Technology (NANO-7). 60 (2002)
-
[Publications] T.Suzuki, J.H.Noh, T.Arakawa, K.Tada, et al.: "Fabrication and Optical Characterization of Five-Layer Asymmetric Coupled Quantum Well (FACQW)"Jpn. J. Appl. Phys.. 41,4B. 2701-2706 (2002)
