2001 Fiscal Year Annual Research Report

ナノメートルの精度で動く分布型マイクロ・ナノマシン

Research Project

Project/Area Number	13305010
Research Institution	Tohoku University
Principal Investigator	江刺正喜東北大学, 未来科学技術共同センター, 教授 (20108468)
Co-Investigator(Kenkyū-buntansha)	田中秀治東北大学, 大学院・工学研究科, 講師 (00312611) 小野崇人東北大学, 大学院・工学研究科, 助教授 (90282095) 羽根一博東北大学, 大学院・工学研究科, 教授 (50164893) 芳賀洋一東北大学, 大学院・工学研究科, 助手 (00282096)
Keywords	アクチュエーター / マイクロマシニング / 高密度記録 / 近接場光学 / 走査型プローブ顕微鏡 / 近接場光学顕微鏡 / カーボンナノチューブ
Research Abstract	マイクロマシニングを利用すると、静電力により動くマイクロ要素を複数個並べた分布型静電アクチュエーターなどが作製できる。分布型アクチュエーターは、ハードディスクの磁気ヘッドを高精度に動かし、トラッキングを制御するためのアクチュエーターやマイクロ光学部品の位置制御などへの応用が期待されている。磁気や光を利用した高密度記録技術は、年々その記録密度が増し、2010年にはT(テラ)bits/inch^2の記録密度が必要となることが予測されている。面記録でテラビットの記録密度を得るためには、記録マークの大きさ、およびそのピッチを共に20nm以下にする必要がある。近年、近接場光を利用したり、プローブ顕微鏡の技術を利用したりして、数十nmのサイズの記録ビットを書きこむことができるようになった。しかしこの技術を実用化するためには、ナノメートルの精度で動く駆動機構等の周辺技術の開発が必要である。例えば、ナノメートルの精度で、しかも高速に動く微小なXYZアクチュエーター、トラッキングを容易にするための、パターンド・メディア、超寿命の記録ヘッド等の開発を進める。これらの技術を統合して、指先サイズの高密度記録デバイスの実現を目指す。本年度は、ダイヤモンドを先端にもつ記録ヘッドアレイ、PZTアクチュエーターを集積化させた、1チップアクチュエーター、記録ヘッドに使うカーボンナノチューブの選択成長の研究に取り組んだ。

Research Products

(7 results)

All Other

All Publications (7 results)

[Publications] D.W.Lee, T.Ono, M.Esashi: "Fabrication of thermal microprobes with a sub-100nm metal-to-metal junction"Nanotechnology. 13. 29-32 (2002)
[Publications] P.N.Minh, T.Ono, H.Watanabe, S.S.Lee, Y.Haga, M.Esashi: "Hybrid Optical fiber-apertured cantilever near-field probe"Applied Physics Letters. 79. 3020-3023 (2001)
[Publications] P.Minh, T.Ono, S.Tanaka, M.Esashi: "Neal-field optical apertured tip and modifid structures for local field enhancement"Applied Optics. 40. 7263-7269 (2001)
[Publications] T.Ono, M.Hideki, M.Esashi: "Electric-field-enhanced growth of carbon nanotubes for scanning probe microscopy"Nanotechnology. 13. 62-64 (2002)
[Publications] J.Yang, T.Ono, M.Esashi: "Investigating surface stress : Surface loss in ultrathin single-crystal silicon cantilevers"Journal of Vacuum science and technology B. 19. 551-556 (2001)
[Publications] 小野崇人, ファンミンゴ, 李東原, 江刺正喜: "高密度記録を目指すマルチプローブ"レーザー研究. 29・8. 516-521 (2001)
[Publications] P.N.Minh, T.Ono, M.Esashi: "Fabrication of silicon microprobes for optical near-field applications"CRC Press. 165 (2002)

2001 Fiscal Year Annual Research Report

ナノメートルの精度で動く分布型マイクロ・ナノマシン

Principal Investigator

江刺 正喜 東北大学, 未来科学技術共同センター, 教授 (20108468)

Research Products

[Publications] D.W.Lee, T.Ono, M.Esashi: "Fabrication of thermal microprobes with a sub-100nm metal-to-metal junction"Nanotechnology. 13. 29-32 (2002)

[Publications] P.N.Minh, T.Ono, H.Watanabe, S.S.Lee, Y.Haga, M.Esashi: "Hybrid Optical fiber-apertured cantilever near-field probe"Applied Physics Letters. 79. 3020-3023 (2001)

[Publications] P.Minh, T.Ono, S.Tanaka, M.Esashi: "Neal-field optical apertured tip and modifid structures for local field enhancement"Applied Optics. 40. 7263-7269 (2001)

[Publications] T.Ono, M.Hideki, M.Esashi: "Electric-field-enhanced growth of carbon nanotubes for scanning probe microscopy"Nanotechnology. 13. 62-64 (2002)

[Publications] J.Yang, T.Ono, M.Esashi: "Investigating surface stress : Surface loss in ultrathin single-crystal silicon cantilevers"Journal of Vacuum science and technology B. 19. 551-556 (2001)

[Publications] 小野崇人, ファンミンゴ, 李東原, 江刺正喜: "高密度記録を目指すマルチプローブ"レーザー研究. 29・8. 516-521 (2001)

[Publications] P.N.Minh, T.Ono, M.Esashi: "Fabrication of silicon microprobes for optical near-field applications"CRC Press. 165 (2002)

江刺正喜東北大学, 未来科学技術共同センター, 教授 (20108468)