2002 Fiscal Year Annual Research Report

ナノメートルの精度で動く分布型マイクロ・ナノマシン

Research Project

Project/Area Number	13305010
Research Institution	Tohoku University
Principal Investigator	江刺正喜東北大学, 未来科学技術共同研究センター, 教授 (20108468)
Co-Investigator(Kenkyū-buntansha)	田中秀治東北大学, 大学院・工学研究科, 講師 (00312611) 小野崇人東北大学, 大学院・工学研究科, 助教授 (90282095) 羽根一博東北大学, 大学院・工学研究科, 教授 (50164893) 芳賀洋一東北大学, 大学院・工学研究科, 助手 (00282096)
Keywords	アクチュエータ / マイクロマシニング / 高密度記録 / ナノマシニング / 走査型プローブ顕微鏡 / 圧電アクチュエータ / 静電アクチュエータ / 電界放出エミッタ
Research Abstract	マイクロマシニングを利用すると、微小なアクチュエータを集積化した小型のシステムが実現できる。静電力により動くマイクロ要素を複数個並べた分布型静電アクチュエータや圧電材料を加工したマイクロシステムは、多自由度の動きやナノメートルの精度を可能にする。分布型静電アクチュエータは、ハードディスクの磁気ヘッドを高精度に動かし、トラッキングを制御するためのアクチュエータやマイクロ光学部品の位置制御などへの応用が期待されている。一方、磁気や光を利用した高密度記録技術は、年々その記録密度が増し、2010年にはT(テラ)bits/inch^2の記録密度が必要となることが予測されている。面記録でテラビットの記録密度を得るためには、記録マークの大きさ、およびそのピッチを共に20nm以下にする必要がある。近年、近接場光を利用したり、プローブ顕微鏡の技術を利用したりして、数+nmのサイズの記録ビットを書きこむことができるようになった。しかしこの技術を実用化するためには、ナノメートルの精度で動く駆動機構等の周辺技術の開発が必要である。例えば、ナノメートルの精度で、しかも高速に動く微小なXYZアクチュエータ、トラッキングを容易にするための、パターンド・メディア、超寿命の記録ヘッド等の開発を進める。これらの技術を統合して、指先サイズの高密度記録デバイスの実現を目指している。本年度は、ダイヤモンドを先端にもつ記録ヘッドアレイ、マルチ電子ビーム源、PZTアクチュエータを集積化させた、モノリシック多自由度アクチュエータ、アクチュエータと組み合わせて動作させるための走査型プローブ顕微鏡用のプローブアレイを試作した。また、このプローブによる書き込みと読み出しの実験を行った。

Research Products

(7 results)

All Other

All Publications (7 results)

[Publications] D.-W.Lee, T.Ono, T.Abe, M.Esashi: "Microprobe Array With Electrical Interconnection for Thermal Imaging and Data Storage"JOURNAL OF MICROELECTROMECHANICAL SYSTEMS. 11・3. 215-221 (2002)
[Publications] D.-W.Lee, T.Ono, T.Abe, M.Esashi: "Electrical and thermal recording techniques using a heater integrated microprobe"Journal of micromechanics and microengineering. 12. 841-848 (2002)
[Publications] P.N.Mihn, Le.T.T.Tuyen, T.Ono, H.Minura, X.Yokoo, M.Esashi: "Carbon nanotube on a Si tip for electron field emitter"Jpn. J. Appl. Phys.. 41. L1409-L1411 (2002)
[Publications] J.H.Kuypers, T.ono, M.Esashi: "Aluminum Nitride Based Piezoelectric Microactuators"Proceedings of the Sensor Symposium. 19. 459-464 (2002)
[Publications] 江刺正喜, 小野崇人: "ナノメカニクス"日本機械学会誌. 105. 2-5 (2002)
[Publications] J.H.Bae, T.Ono, M.Esashi: "Scanning probe with an integrated diamond heater element for nanolithography"Applied physics letters. 82・5. 814-816 (2003)
[Publications] T.Ono, M.Esashi et al.: "Nano-Optics, Chapter 5"Springer. 111-135 (2002)

2002 Fiscal Year Annual Research Report

ナノメートルの精度で動く分布型マイクロ・ナノマシン

Principal Investigator

江刺 正喜 東北大学, 未来科学技術共同研究センター, 教授 (20108468)

Research Products

[Publications] D.-W.Lee, T.Ono, T.Abe, M.Esashi: "Microprobe Array With Electrical Interconnection for Thermal Imaging and Data Storage"JOURNAL OF MICROELECTROMECHANICAL SYSTEMS. 11・3. 215-221 (2002)

[Publications] D.-W.Lee, T.Ono, T.Abe, M.Esashi: "Electrical and thermal recording techniques using a heater integrated microprobe"Journal of micromechanics and microengineering. 12. 841-848 (2002)

[Publications] P.N.Mihn, Le.T.T.Tuyen, T.Ono, H.Minura, X.Yokoo, M.Esashi: "Carbon nanotube on a Si tip for electron field emitter"Jpn. J. Appl. Phys.. 41. L1409-L1411 (2002)

[Publications] J.H.Kuypers, T.ono, M.Esashi: "Aluminum Nitride Based Piezoelectric Microactuators"Proceedings of the Sensor Symposium. 19. 459-464 (2002)

[Publications] 江刺正喜, 小野崇人: "ナノメカニクス"日本機械学会誌. 105. 2-5 (2002)

[Publications] J.H.Bae, T.Ono, M.Esashi: "Scanning probe with an integrated diamond heater element for nanolithography"Applied physics letters. 82・5. 814-816 (2003)

[Publications] T.Ono, M.Esashi et al.: "Nano-Optics, Chapter 5"Springer. 111-135 (2002)

江刺正喜東北大学, 未来科学技術共同研究センター, 教授 (20108468)