2003 Fiscal Year Annual Research Report
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14350129
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| Research Institution | Kanazawa University |
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Principal Investigator |
安達 正明 金沢大学, 工学部, 教授 (50212519)
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| Co-Investigator(Kenkyū-buntansha) |
榎本 文彦 金沢大学, 工学部, 助手 (80135045)
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| Keywords | 2波長 / 光干渉 / 干渉位相 / 垂直走査 / 位相シフト法 / フラッシュ光源 / 高輝度LED光源 / デジタルカメラ |
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| Research Abstract |
昨年度の研究では製作した装置を用いて本計測方法の原理確認やその測定精度の評価を行った.今年度はその評価結果を基に,その測定誤差が何によって与えられるかを分析し,より高精度化を実現するための方法を調べた.以下に実施した研究開発内容を示す.
1.形状計測の誤差を解析したところ,(1)一つは等価波長の整数倍の飛び,(2)1つは波長の整数倍の飛び,(3)もう一つはランダムな幅を持つ飛びであった.これを解析したところ改善するためには,(1)には光源の帯域幅をある程度広く維持すること,(2)には等価波長をあまり長くしないこと,(3)には光源光量を2波長共になるべく稼ぐ必要があることが分かった.
2.等価波長を短くするためになるべく大きく波長が異なる光を用いる場合,色収差(両者のピントを同時にあわせにくくなる)を考慮しなければならないこと.しかし用いたレンズでは540nm前後を挟む2波長を用いることでこれを改善できることが分かった.
3.位相抽出に応用できるものには4画面,5画面,7画面位相シフト法と色々あるが,広帯域光源(短コヒーレンス光となる)を用いるコントラストが変動する干渉の場合,それらを応用した時に得られる抽出特徴と精度限界を調べた.その結果,高精度形状計測には何らかの方法でこれを改良しなければならないことが分かった.
4.高精度形状評価においては対物レンズの開口が測定結果に影響することが分かった.しかし,これを補正するための実効波長確認方法が開発できた.
5.フラッシュ光源の代わりに高輝度LED光源が利用可能であることも分かった.この場合はZ軸移動毎の発光(画像取込)を2色で交互に行う必要があるが,計測装置をコンパクトで無音にできることが分かった.
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Research Products
(1 results)
