2002 Fiscal Year Annual Research Report

GMR+プレーナ形コイル複合プローブによるプリント配線の性状検査技術の研究

Research Project

Project/Area Number	14350218
Research Institution	Kanazawa University
Principal Investigator	山田外史金沢大学, 自然計測応用研究センター, 教授 (80019786)
Co-Investigator(Kenkyū-buntansha)	東剛人金沢大学, 工学部, 助手 (60308179) 脇若弘之信州大学, 工学部, 教授 (50240461) 岩原正吉金沢大学, 工学部, 教授 (80020212)
Keywords	プリント基板 / 非破壊検査 / うず電流探傷 / 巨大磁気抵抗素子 / 非接触検査 / 抵抗検査 / 性状検査 / 画像処理
Research Abstract	本研究の目的は,プレーナ形励磁コイルと巨大磁気抵抗素子による複合プローブを用いた高密度プリント配線の性状検査法を開発することである。本年度の研究概要は下記の3点である。 (1)マルチGMRセンサの設計製作と特性把握非破壊検査用の巨大磁気抵抗効果素子(GMR)について,ハードデスクヘッドメーカとの交渉により,サイズ18μm幅,180μm長さ,2素子構造を製作した。特性は,周波数特性(<100MHz),感度(8-15%(ΔR/R)/G),直線性特性,抵抗値(500-600Ω)などを確認した。 (2)GMR+プレーナ形コイル複合プローブの製作とプリント基板検査上記のGMR素子をプレーナ形ミアンダコイル上にレイアウトしたGMR+プレーナ形コイル複合プローブを製作した。このプローブによるプリント基板での検査データは来年度に行う。GMRに代わってソレノイドコイルとした複合プローブによるプリント基板検査評価について,配線幅100μmについて雑音対信号比の評価により50dB以上あり検出可能である。ソレノイドコイルより高感度のマイクロサイズのGMR素子により目標とする線幅50μmの配線検査は可能であると判断する。 (3)検出信号の画像処理による異常部分の抽出システムの検討プリント配線より得られる2次元検出信号イメージからの欠陥部分の抽出プログラムについて,信号の相関関数と正常基板と比較手法を用いたMatLabによるGUIプログラムを完成させた。今後,このプログアムを基礎に確度の高い,高速な手法について検討する。

Research Products
(6 results)

All Other

All Publications (6 results)

[Publications] T.Taniguchi, K.Nakamura, S.Yamada, M.Iwahara: "Image Processing in Eddy-Current Testing for Extraction of Orientations of Defects"International Journal of Applied Electromagnetics and Mechanics. 14・1-4. 503-506 (2002)
[Publications] D.Kacprzak, S.Yamada, M.Iwahara: "Simulation of Amplitude and Phase Characteristics during Inspection of Printed Circuit Board by Eddy-Current Testing Probe"International Journal of Applied Electromagnetics and Mechanics. 15・1-4. 15-20 (2002)
[Publications] 片岡康浩, 脇若弘之, 小松大祐, 篠浦治, 山田外史: "GMRラインセンサによる渦電流分布の検出"電気学会マグネティックス・リニアドライブ合同研究会資料. MAG-02-131〜136. 11-16 (2002)
[Publications] S.C.Mukhopadhyay, S.Yamada, M.Iwahara: "Optimum Coil Pitch Selection for Planar Mesh Type Micro-Magnetic Sensor for the Estimation of Near-Surface Material Properties"Applications of Electromagnetic Phenomena in Electrical and Mechanical Systems (II). 14. 1-9 (2003)
[Publications] 水野覚, 山田外史, 岩原正吉: "ミアンダコイルを用いた渦電流探傷プローブの配管溶接部への適用"日本応用磁気学会誌. 27・4(印刷中). (2003)
[Publications] 中村和倫, 山田外史, 岩原正吉, 谷口哲樹: "プリント基板検査におけるマルチECTプローブの感度向上への検討"日本応用磁気学会誌. 27・4(印刷中). (2003)

2002 Fiscal Year Annual Research Report

GMR+プレーナ形コイル複合プローブによるプリント配線の性状検査技術の研究

Principal Investigator

山田 外史 金沢大学, 自然計測応用研究センター, 教授 (80019786)

Research Products

[Publications] T.Taniguchi, K.Nakamura, S.Yamada, M.Iwahara: "Image Processing in Eddy-Current Testing for Extraction of Orientations of Defects"International Journal of Applied Electromagnetics and Mechanics. 14・1-4. 503-506 (2002)

[Publications] D.Kacprzak, S.Yamada, M.Iwahara: "Simulation of Amplitude and Phase Characteristics during Inspection of Printed Circuit Board by Eddy-Current Testing Probe"International Journal of Applied Electromagnetics and Mechanics. 15・1-4. 15-20 (2002)

[Publications] 片岡康浩, 脇若弘之, 小松大祐, 篠浦 治, 山田外史: "GMRラインセンサによる渦電流分布の検出"電気学会マグネティックス・リニアドライブ合同研究会資料. MAG-02-131〜136. 11-16 (2002)

[Publications] S.C.Mukhopadhyay, S.Yamada, M.Iwahara: "Optimum Coil Pitch Selection for Planar Mesh Type Micro-Magnetic Sensor for the Estimation of Near-Surface Material Properties"Applications of Electromagnetic Phenomena in Electrical and Mechanical Systems (II). 14. 1-9 (2003)

[Publications] 水野 覚, 山田外史, 岩原正吉: "ミアンダコイルを用いた渦電流探傷プローブの配管溶接部への適用"日本応用磁気学会誌. 27・4(印刷中). (2003)

[Publications] 中村和倫, 山田外史, 岩原正吉, 谷口哲樹: "プリント基板検査におけるマルチECTプローブの感度向上への検討"日本応用磁気学会誌. 27・4(印刷中). (2003)

山田外史金沢大学, 自然計測応用研究センター, 教授 (80019786)

[Publications] 片岡康浩, 脇若弘之, 小松大祐, 篠浦治, 山田外史: "GMRラインセンサによる渦電流分布の検出"電気学会マグネティックス・リニアドライブ合同研究会資料. MAG-02-131〜136. 11-16 (2002)

[Publications] 水野覚, 山田外史, 岩原正吉: "ミアンダコイルを用いた渦電流探傷プローブの配管溶接部への適用"日本応用磁気学会誌. 27・4(印刷中). (2003)