2002 Fiscal Year Annual Research Report
細束イオンビームによる高感度正負二次イオン像同時観察法の研究
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14550028
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| Research Institution | Takushoku University |
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Principal Investigator |
関 節子 拓殖大学, 工学部, 教授 (40196944)
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| Keywords | 二次イオン像 / SIMS / 液体金属イオン源 / 集束イオンビーム / LMIS / FIB |
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| Research Abstract |
一次イオンとして用いる集束イオンビーム(FIB)を生成するための液体金属イオン源(LMIS)を開発中である。基本的な構造は既に開発したsealed-cone-typeを応用しているが,良好なLMISビームを得るためには形,構造だけでなく,フィラメント,ニードルの材質やサイズ,表面処理法,エッチング方法等種々の工夫が必要であった。以上のことを含めてLMISイオン源作製には多くの過程があるがほぼ良好なイオン源が出来るようになった。
このイオン源を用いて,装置自体の種々の電極,レンズ等を調整してビームをセンターに通し,その絞り具合をチェックし試料面上で良好に絞れていることを確認した。
また,試料の位置調整を容易に確実に出来るようにしさらに試料台の振動やブレを防ぐような改良を加えた。これは大きな効果があった。こうして,テスト試料としてメッシュを用い二次イオン像の検出を行うことが出来た。
一方,本研究で利用しようとしている増感物質の効果を確かめるための基礎実験及び効果的な試料調整法を種々行った。たとえば,多層薄膜を浅い角度で斜面研磨した面にセシウムイオンあるいは酸素イオンを注入し,その面上をガリウムFIBにより走査してイオン像を測定した。その結果,セシウムイオン注入面の負イオン像の感度は高くなり酸素イオン注入面の正イオン像の感度が高くなり,イオン注入による増感効果が顕著であることが確認できた。この手法は,SIMSの深さ方向分析が困難なときに特に有用であった。また,とくに表面がラフな面では,そのままでは正確な深さ方向分析は不可能であったが,本手法はSIMS深さ方向分析に代わって有用であることを確認できた。
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Research Products
(1 results)
