顕微ラマン分光解析による窒化ガリウム系高出力青色レーザ端面の信頼性評価

2002 Fiscal Year Annual Research Report

• Project/Area Number: 14550292
• Research Institution: The University of Tokyo
• Principal Investigator: 岸 眞人 東京大学, 大学院・工学系研究科, 助手 (00150285)
• Co-Investigator(Kenkyū-buntansha): 神谷 武志 大学評価・学位授与機, 構・学校審査研究部, 教授 (70010791) ; 土屋 昌弘 東京大学, 大学院・工学系研究科, 助教授 (50183869)
• Keywords: 顕微ラマン分光 / 青色レーザダイオード / 窒化ガリウム / 発光デバイス / 劣化

Research Abstract

本研究の目的は,短波長高出力発光デバイスの代表格である窒化ガリウム系高出力青色レーザに対して,その動作状態及び劣化メカニズムの詳細な解明を高感度顕微ラマン分光法を駆使して行う点にある.
今年度は主に,試料となる窒化ガリウム系高出力青色レーザの準備とその基礎的パラメータの測定及び調査を行うと共に,発振中の窒化ガリウム系高出力青色レーザの活性領域を顕微ラマン分光により高空間分解能でマッピング測定を行う為に顕微ラマン分光装置の改良を行った.具体的には,発振中の窒化ガリウム系高出力青色レーザからの強いレーザ光と微弱なラマン散乱光を分離するためのフィルタ系,レーザパッケージの出力窓から離れた位置にある青色レーザダイオード端面を観察する為の長作動距離対物レンズ,計測ソフトウェア等の整備である.この改良の結果を確認するために,試料としてベータ鉄シリサイド微粒子を用い,微弱なラマン散乱光の検出実験を試みた.その結果,所期の性能を満たすことが確認出来た.これによって,来年度以降行う予定である発振中窒化ガリウム系高出力青色レーザ端面を1ミクロン程度の空間分解能でマッピング測定し,温度分布等デバイス劣化に密接に関係する諸量を明らかにするための準備が整った.また,この確認実験の結果としてベータ鉄シリサイド微粒子の生成に関してこれまでに無い新たな知見を得ることが出来た.

Research Products

• [Publications] 片寄 淳: "PLD法を用いた鉄シリサイド薄膜作製の試み"2002年シリサイド系半導体夏の学校 予稿集 応用物理学会シリサイド系半導体と関連物質研究会. 2002-014. (2002)
• [Publications] 五十嵐 考俊: "PLD法と窒素雰囲気アニール処理によるβ-FeSi_2ドロップレットの低温生成"第50回応用物理学関係連合講演会 講演予稿集. No.3. 1445-1445 (2003)
• [Publications] 片寄 淳: "FeターゲットPLD膜の熱処理によるβ-FeSi_2下層膜の形成"第50回応用物理学関係連合講演会 講演予稿集. No.3. 1445-1445 (2003)