2003 Fiscal Year Annual Research Report

マイクロシステム作製におけるプラズマレスドライエッチングプロセスの研究

Research Project

Project/Area Number	14550305
Research Institution	Seikei University
Principal Investigator	齋藤洋司成蹊大学, 工学部, 教授 (90196022)
Co-Investigator(Kenkyū-buntansha)	鈴木誠一成蹊大学, 工学部, 助教授 (40235958)
Keywords	三フッ化塩素 / マイクロマシニング / シリコン / 太陽電池 / 赤外線センサ / バイオセンサ / 流路
Research Abstract	シリコンの酸化膜に対する高選択性を有する三フッ化塩素ガスによるプラズマレスドライエッチング技術を熱型赤外線センサ作製プロセスへの応用を試みた。検出器として働く多結晶シリコン膜の裏側部分の基板を表面から約50μmエッチングを行い、エアーギャップを形成して断熱構造を実現した。センサの動作を確認し、感度も同方式のこれまでの報告よりも良い値が得られ、プロセスの有効性が確認できた。また、赤外線検出用薄膜材料作製法について、湿式法に関する基礎検討を行ったところ、多元化合物多結晶膜の形成に適していることが明らかとなった。次に、太陽電池の反射損失低減のための微細テクスチャー構造の形成を初めて多結晶シリコン基板に対して行った。わずかな表面処理により大きく反射率が減少することを見出した。我々の提案する表面処理が反射損失低減に有効であることを確認できた。この現象はわずかなコストでシリコン結晶系太陽電池の効率向上に寄与できると期待している。つぎに、免疫バイオセンサに関連して、流路を用いて必要な細胞だけを選別する簡易細胞分離装置、マイクロリアクタの製作も行い、動作を確認した。今回はウェットエッチングやシリコーン樹脂を用いて形成した。今後ドライエッチングの特性を生かし、その他の加工方法も組み入れ、新しいマイクロ構造およびその作製技術の確立を試みていく予定である。

Research Products

(6 results)

All Other

All Publications (6 results)

[Publications] H.Murotani, Y.Saito: "Highly-sensitive infrared sensors using undoped polycrystalline silicon films"Proc.Int.Conf.on Electrical Eng.2003. 070-1-070-4 (2003)
[Publications] N.Nakamura, Y.Saito: "Helium addition effect on the remote-plasma-enhanced etching of silicon-related materials using anhydrous hydrogen fluoride gas"Proc.International Conference on Electrical Engineering 2003. 067-1-067-4 (2003)
[Publications] 佐藤, 齋藤, 土肥, 尾崎: "金属アルコキシドを用いた湿式化学法によるCdTe膜の形成と特性評価"J.the Ceramic Society of Japan. 111, 7. 509-515 (2003)
[Publications] 室谷, 岡田, 門馬, 齋藤: "ノンドープポリシリコンを用いた高感度赤外線センサ(II)"第51回応用物理学関係連合講演会予稿集. 31a-YB-1 (2004)
[Publications] S.Suzuki, T.Nakasone, K.Ishikawa: "An investigation on the mechanism of EHD phenomena in high intensity and asymmetric electric field"International Conference on Solid State Devices and Materials. 14-1-14-4 (2003)
[Publications] S.Suzuki, K.Ishikawa: "A novel electrohydrodynamics pump for conductive solution using asymmetric AC field"The 7th Conference on Miniaturized Chemical and Biochemical System. 2. 515-518 (2003)

2003 Fiscal Year Annual Research Report

マイクロシステム作製におけるプラズマレスドライエッチングプロセスの研究

Principal Investigator

齋藤 洋司 成蹊大学, 工学部, 教授 (90196022)

Research Products

[Publications] H.Murotani, Y.Saito: "Highly-sensitive infrared sensors using undoped polycrystalline silicon films"Proc.Int.Conf.on Electrical Eng.2003. 070-1-070-4 (2003)

[Publications] N.Nakamura, Y.Saito: "Helium addition effect on the remote-plasma-enhanced etching of silicon-related materials using anhydrous hydrogen fluoride gas"Proc.International Conference on Electrical Engineering 2003. 067-1-067-4 (2003)

[Publications] 佐藤, 齋藤, 土肥, 尾崎: "金属アルコキシドを用いた湿式化学法によるCdTe膜の形成と特性評価"J.the Ceramic Society of Japan. 111, 7. 509-515 (2003)

[Publications] 室谷, 岡田, 門馬, 齋藤: "ノンドープポリシリコンを用いた高感度赤外線センサ(II)"第51回応用物理学関係連合講演会予稿集. 31a-YB-1 (2004)

[Publications] S.Suzuki, T.Nakasone, K.Ishikawa: "An investigation on the mechanism of EHD phenomena in high intensity and asymmetric electric field"International Conference on Solid State Devices and Materials. 14-1-14-4 (2003)

[Publications] S.Suzuki, K.Ishikawa: "A novel electrohydrodynamics pump for conductive solution using asymmetric AC field"The 7th Conference on Miniaturized Chemical and Biochemical System. 2. 515-518 (2003)

齋藤洋司成蹊大学, 工学部, 教授 (90196022)