2003 Fiscal Year Annual Research Report
YAG高調波による透明体電極の環境調和型高効率作製法
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14750089
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| Research Institution | Okayama University |
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Principal Investigator |
岡本 康寛 岡山大学, 工学部, 助手 (40304331)
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| Keywords | レーザ加工 / 透明体電極 / ITO膜 / ドライプロセス / QスイッチYAGレーザ / YAG高調波 |
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| Research Abstract |
YAG高調波レーザを用いた透明体電極作製法について,レーザ光波長が加工特性に与える影響を検討するための実験装置を試作し,以下のような所見が得られた.
1.連続発振状態から必要な数のパルス数を抽出するために,Qスイッチ信号と同期をもたせたガルバノ式高速シャッターを設計した.この装置では照射しない場合はシャッターでレーザ光の光路を曲げ,必要な時だけファンクションジェネレータから信号を出力してシャッターを開けることでレーザ光を通過させる.これにより,温度変化に対して敏感な非線形光学結晶を熱平衡に保ってシングルショットにおいても安定したレーザパルスを出力でき,再現性の高いレーザ光照射実験が可能となった.
2.ビームエキスパンダを設計し,発振器から出力されたビーム径を拡大してからマスクを通させることにより,均一性に乏しい周囲のレーザビームを取り除くとともに,レーザパワーを抑えることができた.また,Qスイッチディレイのタイミングを変化させる方法を用いてパルス幅を変化させることなくレーザ出力を変化できるようにした.さらにキュービックポラライザおよび波長板を用いてアッテネータを作製した.これは偏光を利用して光学部品の設置角度を変化させることにより出力調整を行うものであり,発振器より出力されたレーザ光のビームモードを変化させることなくアッテネータの前後で1/20以下に出力を可変減衰させることが可能となった.これらの装置の開発により,レーザ出力を1mJ以下の領域で正確にコントロールするとともに,光の回折現象によりレーザビームの強度分布を均一に近づけることができた.これにより,全ての波長で同一の光学系を用いてレーザ光の強度分布変換および出力調整が可能となり,波長の違いによる加工現象の比較を詳細に行うことが可能となった.
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