2004 Fiscal Year Annual Research Report
レーザープラズマ軟X線光源を用いた超高分解能多元物質顕微鏡の開発
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15002001
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| Research Institution | Tohoku University |
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Principal Investigator |
山本 正樹 東北大学, 多元物質科学研究所, 教授 (00137887)
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| Co-Investigator(Kenkyū-buntansha) |
柳原 美広 東北大学, 多元物質科学研究所, 教授 (40174552)
羽多野 忠 東北大学, 多元物質科学研究所, 助手 (90302223)
江島 丈雄 東北大学, 多元物質科学研究所, 助手 (80261478)
津留 俊英 東北大学, 多元物質科学研究所, 助手 (30306526)
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| Keywords | 軟X線 / 多層膜 / 顕微鏡 / レーザープラズマ / 周期膜厚分布制御 / スパッタリング / エリプソメーター / 成膜レートモニター |
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| Research Abstract |
本年度は昨年度に引き続き,軟X線結像系を構成する多層膜曲面ミラーを製作するための技術課題の解決を目指した.また,同ミラーの反射特性を評価するための軟X線反射率計を設計・製作して導入した.ミラーの波面誤差計測の軟X線干渉計の構築では,計算機シミュレーションコード及び縞解析ソフトウェアを開発するとともに可視光を利用した干渉縞生成と解析法開発を進めた.
具体的には,ミラー製作技術では,昨年度に導入したトラッキングエリプソメーターによるスパッタレートモニター実験を開始し,データ処理系を開発して軟X線多層膜の成膜のレートモニターとして適用して平均膜厚精度1%を得た.
昨年度に継続して現有のレーザープラズマ軟X線光源反射率計にビームスプリッター方式のIOモニターを導入して反射率計測の高精度化を進めている.
また,曲面多層膜鏡の試作と評価を繰り返して軟X線分光反射率計測から周期膜厚を0.1%で決定する方法をほぼ確立できた.
精密曲面ミラー評価用の反射率計では,新たな光学設計仕様で機械部の設計製作を終了して軟X線分光反射率計として備品購入した.また,反射率計光源部用のYAGレーザーを備品購入した.
軟X線干渉計の縞解析法を確立するために,計算機シミュレーションコード及び縞解析ソフトウェアを開発し,理論的に解析法を検討した.
軟X線干渉計は反射型であることを利用して,可視光による同原理の干渉計を製作して,干渉縞生成と解析法開発を進めた.
開発する顕微鏡本体の基本設計指針を定量化するために専用ソフトウェアを開発して最適設計解の解析的な探索を開始した.
VUV国際会議等で成果発表を行った.
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Research Products
(5 results)
