プラズマを用いたミクロ反応場の創成とその応用に関する総括研究

2003 Fiscal Year Annual Research Report

• Project/Area Number: 15075101
• Research Institution: Kyoto University
• Principal Investigator: 橘 邦英 京都大学, 工学研究科, 教授 (40027925)
• Co-Investigator(Kenkyū-buntansha): 白藤 立 京都大学, 国際融合創造センター, 助教授 (10235757) ; 寺嶋 和夫 東京大学, 新領域創成科学研究科, 助教授 (30176911) ; 石井 彰三 東京工業大学, 理工学研究科, 教授 (40016655)
• Keywords: マイクロプズマ / プラズマ生成・制御 / プラズマ診断 / プラズマ・シミュレーション / プラズマ応用技術 / 局所材料プロセス / 極微量化学分析 / 微小光源・ディスプレイ

Research Abstract

本特定領域では、ミリメートル〜サブミクロンの空間領域において、微小なプラズマを効率的に生成する方法を確立して、その特性を定量的に診断し、従来のマクロ領域での放電プラズマ現象との違いを明らかにして、それを利用した新しい応用を開拓していくことを目的としている。そのために計画研究を、マイクロプラズマを(1)つくる、(2)みる、(3)つかう、の3つの班に分類し、それぞれに3件の計画研究を配置して、それらの相互の連携を図りながらプロジェクトを進めている。総括班では、4名のメンバーに更に4名の評価者を加えて、領域全体における研究方針の策定とテーマ間の企画調整を行って、円滑なプロジェクトの推進を支援している。
初年度にあたる本年度は、8月に京都で計画研究代表者による企画調整会議を行い、9月には、領域発足を世に広く周知させるため、公開シンポジウム「プラズマを用いたミクロ反応場の創成とその応用」を東京で開催した。また、2月には1年間の研究成果を互いに披露し、来年度の研究計画を検討するため、成果報告会を高知で1泊2日の日程で開催した。そめ詳細は別途発行した平成15年度成果報告書に詳細に記されている。
また、領域の広報活動としては、米国物理学会主催のGaseous Electronics Conferencc、核融合学会シンポジウム、電気学会シンポジウムなどで、領域代表者ならびに総括班メンバーが招待講演を通して領域の紹介を行ったこと、ニュースレターを2回発行したことなどが挙げられる。これらの詳細は本領域のホームページ(http://plasmal.kuee.kyoto-u.ac.jp/〜tokutei429)にも掲載されている。

Research Products

• [Publications] K.Tachibana: "Diagnostics and control of three-dimensional behaviors of microdischarge in a unit cell of an ac-type plasma display panel"Journal of Physics D : Applied Physics. 36(23). 2928-2939 (2003)
• [Publications] S.Ishii: "Compact fast high-voltage pulse generator utilizing turn-off capability of Si-thyristor"Proceeding of 14th IEEE International Pulsed Power Conference, Dallas. 931 (2003)
• [Publications] K.Terashima: "Decrease of breakdown voltages for micrometer-scale-gap electrodes for carbon dioxide near the critical point : temperature and pressure dependences"Journal of Applied Physics. 94(8). 5411-5413 (2003)
• [Publications] T.Shirafuji: "Observation of self-organized filaments in a dielectric barrier discharge of Ar gas"Applied Physics Letters. 83(12). 2309-2311 (2003)