2005 Fiscal Year Annual Research Report
超高精度X線ミラー作製による高分解能硬X線顕微鏡の開発
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15106003
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| Research Institution | Osaka University |
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Principal Investigator |
山内 和人 大阪大学, 工学研究科, 教授 (10174575)
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| Co-Investigator(Kenkyū-buntansha) |
山村 和也 大阪大学, 工学研究科, 助教授 (60240074)
佐野 泰久 大阪大学, 工学研究科, 助教授 (40252598)
稲垣 耕司 大阪大学, 工学研究科, 助手 (50273579)
三村 秀和 大阪大学, 工学研究科, 助手 (30362651)
森 勇藏 大阪大学, 工学研究科, 客員教授 (00029125)
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| Keywords | X線ミラー / X線顕微鏡 / X線集光 / 超精密加工 / 超精密形状計測 / 放射光 / コヒーレントX線 |
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| Research Abstract |
本年度(平成17年4月〜平成18年3月)の研究実績
・硬X線30nm集光用ミラーの作製と評価
設計上の集光径が28nm(15keV)の集光ミラーの作製と評価を実施した。BL29XULにおいて、評価を実施し、集光径30nmサイズを確認した。
・更なる集光径の微小化に向けた多層膜形成システムの構築と形状計測システムの性能向上
(多層膜形成システム)
より開口数の大きなミラーの反射率向上を目的とした白金とカーボンの多層膜コーティングを実現するために、これまで導入した白金成膜システムに二台のスパッタガンを搭載した。また、サブナノメートルの精度で膜厚分布の任意制御を可能とする数値制御成膜システムを導入した。
(形状計測システム
これまで開発したフィゾー干渉計と顕微干渉計をベースとしたミラー形状計測法の性能を更に向上させるために、顕微干渉計に高精度エアスライドステージを搭載した。形状計測における位置再現性が飛躍的に向上するとともに、計測時間の短縮が可能となった。その結果、散乱X線の原因であった、わずかに存在していた空間波長0.2mm〜0.5mm領域の形状誤差の効率的な除去が可能となった。
・高分解能走査型蛍光X線顕微鏡の開発
構築した硬X線ナノビームの光学システムに既存のXYサンプルステージ、蛍光X線ディテクターを搭載し、走査型蛍光X線顕微鏡を完成させた。タンタル製のLine&Spaceパターンによるテストを実施し、使用したパターンでは測定限界の70nm以下の空間分解能を確認した。
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Research Products
(15 results)
