2003 Fiscal Year Annual Research Report

液相析出法による高次セラミックスナノ構造体の構築

Research Project

Project/Area Number	15205026
Research Category	Grant-in-Aid for Scientific Research (A)
Research Institution	Kobe University
Principal Investigator	出来成人神戸大学, 工学部, 教授 (10101065)
Co-Investigator(Kenkyū-buntansha)	水畑穣神戸大学, 工学部, 助手 (10283871) 梶並昭彦神戸大学, 工学部, 助手 (10169443)
Keywords	液相析出法 / 金属酸化物薄膜 / セラミックス高次構造体 / セラミックスナノアレイ / 反転オパール構造 / 酸化チタン / 参加スズ / 酸化鉄
Research Abstract	数10〜100nmの構造周期性を有する高次構造制御を施したセラミックスナノ構造体を液相析出法(Liquid Phase Deposition : LPD法)により生成し、その光学的・物理化学的物性について評価することを目的とした。始めにシリコンなどの耐腐食性を有する材料にサブミクロンレベルのパターンニングを施したものをテンプレートとし、このテンプレートを反応場として、液相析出法により酸化物薄膜を成長させ、液相高次構造を構築させた。LPD法による薄膜調製法が他の薄膜形成法と異なり、複雑形状を有する構造体においても、その形状に合わせて酸化物が充填・析出し、その高次構造が保持された状態で転写されることから、セラミックナノ高次構造形成手法を確立した。液相析出法による溶液内反応の最適化、および反応プロセスの機構解明を目的とし、テンプレート形状を一定とした場合の薄膜の形状、充填性等に関する評価を行った。さらに、形状加工における材料選択に関する最適化、およびテンプレートパターンの作製条件に関する最適化を試みた。形状設計として、シリコンにホール加工したものの他、このシリコン基板を金型とし、ポリマー充填により形状を反転させたレプリカ膜を基板とし、この手法でもセラミックナノ構造体が得られることが明らかとなった。また、ポリスチレンにより作製した単文さんコロイド結晶をテンプレートとしたものについても、その空隙にLPD法による反転オパール状の高次構造セラミックスが生成可能であることを確認した。以上の結果より、量産化を目的としたテンプレート形状制御およびテンプレート作成技術を確立した。

Research Products

(7 results)

All Other

All Publications (7 results)

[Publications] Shigehito Deki: "Liquid phase infiltration (LPI) process for fabrication of highly nanoordered materials"Proceeding of Chemical Solution Deposition of Semiconducting and Non-metallic Films. 未定. (2004)
[Publications] Shigehito Deki: "Control of composition gradient in functionally graded Ti/Fe oxide film prepared by the liquid phase deposition method"Transactions of MRSJ. 第28巻・第2号. 385-388 (2003)
[Publications] Shigehito Deki: "The effect of EDTA and EDTA rare earth metal complex on TiO_2 film deposition by the liquid phase deposition (LPD) method"Transactions of MRSJ. 第28巻・第2号. 389-392 (2003)
[Publications] Hnin Yu Yu Ko: "Preparation of Au nanoparticle dispersed Nb_2O_5 composite film by liquid phase deposition"J.Electroanal.Chem.. 第559巻・第15号. 91-98 (2003)
[Publications] Shigehito Deki: "Aqueous solution-based synthesis of rare earth-doped metal oxide thin films"Thin Solid Films. 未定. (2004)
[Publications] 出来成人: "水溶液からの機能性材料合成"GS News Technical Report. 第62巻・第2号. 46-53 (2003)
[Publications] 出来成人: "実験化学講座第27巻機能性物質(日本化学会編)"丸善(未定). (2004)

2003 Fiscal Year Annual Research Report

液相析出法による高次セラミックスナノ構造体の構築

Principal Investigator

出来 成人 神戸大学, 工学部, 教授 (10101065)

Research Products

[Publications] Shigehito Deki: "Liquid phase infiltration (LPI) process for fabrication of highly nanoordered materials"Proceeding of Chemical Solution Deposition of Semiconducting and Non-metallic Films. 未定. (2004)

[Publications] Shigehito Deki: "Control of composition gradient in functionally graded Ti/Fe oxide film prepared by the liquid phase deposition method"Transactions of MRSJ. 第28巻・第2号. 385-388 (2003)

[Publications] Shigehito Deki: "The effect of EDTA and EDTA rare earth metal complex on TiO_2 film deposition by the liquid phase deposition (LPD) method"Transactions of MRSJ. 第28巻・第2号. 389-392 (2003)

[Publications] Hnin Yu Yu Ko: "Preparation of Au nanoparticle dispersed Nb_2O_5 composite film by liquid phase deposition"J.Electroanal.Chem.. 第559巻・第15号. 91-98 (2003)

[Publications] Shigehito Deki: "Aqueous solution-based synthesis of rare earth-doped metal oxide thin films"Thin Solid Films. 未定. (2004)

[Publications] 出来成人: "水溶液からの機能性材料合成"GS News Technical Report. 第62巻・第2号. 46-53 (2003)

[Publications] 出来成人: "実験化学講座 第27巻機能性物質(日本化学会編)"丸善(未定). (2004)

出来成人神戸大学, 工学部, 教授 (10101065)

[Publications] 出来成人: "実験化学講座第27巻機能性物質(日本化学会編)"丸善(未定). (2004)