2003 Fiscal Year Annual Research Report
| Project/Area Number |
15340128
|
|---|
| Research Category |
Grant-in-Aid for Scientific Research (B)
|
| Research Institution | Tokyo University of Agriculture and Technology |
|---|
Principal Investigator |
鶴淵 誠二 東京農工大学, 工学部, 教授 (60028248)
|
|---|
| Co-Investigator(Kenkyū-buntansha) |
本橋 健次 東京農工大学, 工学部, 助手 (50251583)
|
|---|
| Keywords | イオンビーム / 表面 / 多価イオン / 2次イオン / 2次電子 / スパッタリング / 表面酸素被覆率 / 面極性 |
|---|
| Research Abstract |
装置1:高速イオンビームを用いる実験
・清浄な標的表面を得るために,排気系を油拡散ポンプからターボ分子ポンプに切り換えた。ゴニオメータを設計・製作し,真空中で標的の交換や位置の微調ができるようにした。
・半球型の角度積分型エネルギー分析器(阻止法)を製作した。2次電子の全エネルギー分布曲線をAl標的、およびMo標的に対して計測を行った。分布曲線の表面酸素被覆率依存性を測定したが、しきい値付近のS/N比を改善する必要がある。
・飛行時間差質量分析器を試作し、スパッタリングで生成されたO^-原子の検出に成功した。電子のスペクトルとO^-スペクトルとの時間間隔が、表面酸素被覆率の関数として、微妙に変化することを見出した。大変興味深い現象であるが、追加実験による検証が必要である。
・衝撃を受けたAl, Si,などの表面からスパッタされた励起原子からの発光スペクトルは、入射ビーム軸に垂直な方向から、分光器により測定可能な状況になった。(標的位置は可動)。
装置2:多価イオンビームを用いる実験
小型多価イオン源からの多価イオンビームを、Al, Al_2O_3やSiC, GaN表面に対して、約0.5度の「すれすれ入射角」で相互作用をさせ、ポテンシャルスパッタリングで生成される2次イオンの運動量分布を画像分光法で測定するための装置を製作した。運動量画像分光検出器は、正イオンはもとより、負イオンや2次電子のスペクトルも測定可能である。2次イオンの3次元的な運動量分布、スパッタされた直後の初期運動エネルギー分布を求めることができる。AlやSiC、GaNなどについて予備的な実験を行った。得られた成果の部は、国際会議(ICPEAC,2003)、国内学会(日本物理学会、応用物理学会などで公表された。
|
Research Products
(5 results)
-
[Publications] Kenji Motohashi, Seiji Tsurubuchi: "3D-momentum-imaging spectroscopy of fragment ions Produced in electron transfer collisions between energy-gain selected Ar^<q+> (q=3,8,9,11 and 12) and CF_4 molecules"J.Phys.B : At.Mol.Opt.Phys.. 36-9. 1811-1833 (2003)
-
[Publications] Seiji Tsurubuchi, Kenji Motohashi: "Energy-gain-characterized 3D momentum-imaging spectroscopy of N^+ ions produced in Ar^<q+> (q=3,8,9,11 and 12) collisions with N_2 molecules"J.Phys.B : At.Mol.Opt.Phys.. 36-18. 3847-3863 (2003)
-
[Publications] S.Tsurubuchi, R.Wada, K.Motohashi: "Interaction of slow highly charged ions with an aluminium and an alumina surface"Proc.XXII International Conference on the Physics of Electronic and Atomic Collisions. Tul29 (2003)
-
[Publications] 鶴淵誠二, 和田雷太, 本橋健次: "多価イオンとAlおよびAl_2O_3表面との相互作用"日本物理学会題58回年次大会 講演予稿集. 58-1. 135 (2003)
-
[Publications] 鶴淵誠二, 和田雷太, 本橋健次: "多価イオン衝撃で表面からスパッタされた2次イオンの運動量画像分光"第64回応用物理学会学術講演会 講演予稿集. No.2. 665 (2003)
