2003 Fiscal Year Annual Research Report

光集積回路を利用した光応用計測デバイス

Research Project

Project/Area Number	15656096
Research Institution	Shinshu University
Principal Investigator	石澤広明信州大学, 繊維学部, 助教授 (90345760)
Co-Investigator(Kenkyū-buntansha)	鳥羽栄治信州大学, 繊維学部, 教授 (60010956)
Keywords	光導波路 / LiNbO_3 / Ti熱拡散法 / 直線導波路 / 二分岐光導波路 / 光集積回路 / ガス検出 / 分光分析
Research Abstract	低損失光導波路の作成行程に関して,LiNbO_3基板内部にTiを熱拡散法により分布して導波路を形成させる条件を検索した.その結果,以下の条件が最適であることが明らかとなった. (1)LiNbO_3基板上のTi薄膜厚さを1000Åとし,1,000℃・18時間の熱拡散処理によりTi層が10μ程度形成されることが,EPMAなどを用いた分析により明らかとなった. (2)熱拡散における雰囲気は不活性ガスのArが適していた. (3)上記の直線導波路における伝播損失は,2.2dB/cmであり,実用的な水準にほぼ達していることが確認された. (4)Ti拡散係数を求めることにより,処理前に導波路の幅(拡散距離)を推定可能である. (5)Ti熱拡散条件を最適化し,二分岐光導波路の作成も可能であり,この場合の伝播損失は6dB/cmであった. 以上のことから,光集積回路の基本的な作成プロセスを検証した. さらに,光集積回路を利用した光応用計測を用い,ガス検出を実現するための基礎情報として,二酸化炭素,トルエン,キシレンの光吸収波長について,分光分析装置を用い求めた.また,光導波路プローブによる高感度残留ガス検出システムを構築し,同システムの感度,精度,応答特性などについて検討を継続中である.

Research Products

(10 results)

All Other

All Publications (10 results)

[Publications] 近藤雄治, 金井博幸, 石澤広明, 西松豊典, 鳥羽栄治: "ファイバによる二酸化炭素センサの開発"第22回レーザセンシングシンポジウム予稿集. 129-132 (2003)
[Publications] 児玉卓, 石澤広明, 鳥羽栄治, 植田敏嗣: "紫外光光ファイバの試作と特性評価"第22回レーザセンシングシンポジウム予稿集. 125-128 (2003)
[Publications] 岡本拓也, 相沢宏明, 金井博幸, 石澤広明, 西松豊典, 鳥羽栄治: "ファイバオプティクスによる酸素センサの開発"第22回レーザセンシングシンポジウム予稿集. 137-140 (2003)
[Publications] 鈴木英之, 金井博幸, 石澤広明, 西松豊典, 鳥羽栄治: "ファイバオプティクスによるpHセンサの開発"第22回レーザセンシングシンポジウム予稿集. 133-136 (2003)
[Publications] 相沢宏明, 勝亦徹, 小室修二, 森川滝太郎, 鳥羽栄治, 尾川茂: "光ファイバ温度計測用Er添加石英センサプローブの作成と評価"第66回応用物理学会講演要旨集. 57 (2003)
[Publications] 岡本拓也, 相沢宏明, 石澤広明, 西松豊典, 鳥羽栄治: "ファイバオプティクスによる酸素濃度センサの開発"第51回応用物理学関係連合講演会. 75 (2004)
[Publications] H.Aizawa, E.Toba, T.Katsumata, S.Komuro, T.Morikawa: "Chromium Doped Phosphor Based Fiber-optic Thermometer"Proceedings of The Second IEEE International Conference on Sensors. 539-540 (2003)
[Publications] H.Aizawa, E.Toba, H.Uchiyama, T.Katsumata, S.Komuro, T.Morikawa: "Fiber-optic Thermometer Using Chromium Doped Phosphors"Proceedings of 16^<th> International Conference Optical Fiber Sensors. 164-167 (2003)
[Publications] H.Aizawa, T.Katsumata, S.Komuro, T.Morikawa, E.Toba: "Characteristics of Strontium Aluminate Phosphors for Fiber-optic Thermometer Application"Proceedings of 16^<th> International Conference Optical Fiber Sensors. 196-199 (2003)
[Publications] 森山博文, グェン・リン, 野中勉, 西松豊典, 石澤広明, 鳥羽栄治: "ニオブ酸リチウムを使用した光集積回路の開発"計測自動制御学会中部支部シンポジウム予稿集. 73-74 (2003)

2003 Fiscal Year Annual Research Report

光集積回路を利用した光応用計測デバイス

Principal Investigator

石澤 広明 信州大学, 繊維学部, 助教授 (90345760)

Research Products

[Publications] 近藤雄治, 金井博幸, 石澤広明, 西松豊典, 鳥羽栄治: "ファイバによる二酸化炭素センサの開発"第22回レーザセンシングシンポジウム予稿集. 129-132 (2003)

[Publications] 児玉卓, 石澤広明, 鳥羽栄治, 植田敏嗣: "紫外光光ファイバの試作と特性評価"第22回レーザセンシングシンポジウム予稿集. 125-128 (2003)

[Publications] 岡本拓也, 相沢宏明, 金井博幸, 石澤広明, 西松豊典, 鳥羽栄治: "ファイバオプティクスによる酸素センサの開発"第22回レーザセンシングシンポジウム予稿集. 137-140 (2003)

[Publications] 鈴木英之, 金井博幸, 石澤広明, 西松豊典, 鳥羽栄治: "ファイバオプティクスによるpHセンサの開発"第22回レーザセンシングシンポジウム予稿集. 133-136 (2003)

[Publications] 相沢宏明, 勝亦徹, 小室修二, 森川滝太郎, 鳥羽栄治, 尾川茂: "光ファイバ温度計測用Er添加石英センサプローブの作成と評価"第66回応用物理学会講演要旨集. 57 (2003)

[Publications] 岡本拓也, 相沢宏明, 石澤広明, 西松豊典, 鳥羽栄治: "ファイバオプティクスによる酸素濃度センサの開発"第51回応用物理学関係連合講演会. 75 (2004)

[Publications] H.Aizawa, E.Toba, T.Katsumata, S.Komuro, T.Morikawa: "Chromium Doped Phosphor Based Fiber-optic Thermometer"Proceedings of The Second IEEE International Conference on Sensors. 539-540 (2003)

[Publications] H.Aizawa, E.Toba, H.Uchiyama, T.Katsumata, S.Komuro, T.Morikawa: "Fiber-optic Thermometer Using Chromium Doped Phosphors"Proceedings of 16^<th> International Conference Optical Fiber Sensors. 164-167 (2003)

[Publications] H.Aizawa, T.Katsumata, S.Komuro, T.Morikawa, E.Toba: "Characteristics of Strontium Aluminate Phosphors for Fiber-optic Thermometer Application"Proceedings of 16^<th> International Conference Optical Fiber Sensors. 196-199 (2003)

[Publications] 森山博文, グェン・リン, 野中勉, 西松豊典, 石澤広明, 鳥羽栄治: "ニオブ酸リチウムを使用した光集積回路の開発"計測自動制御学会中部支部シンポジウム予稿集. 73-74 (2003)

石澤広明信州大学, 繊維学部, 助教授 (90345760)