2005 Fiscal Year Annual Research Report
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15700537
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| Research Institution | The Wakasa Wan Energy Research Center |
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Principal Investigator |
安田 啓介 (財)若狭湾エネルギー研究センター, 研究開発部, 主査研究員 (00359241)
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| Keywords | 大気中マイクロビーム / PIXE |
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| Research Abstract |
昨年までの実験結果に基づいて、イオンマイクロビームを大気中に取り出してイオンビーム分析を行なうための装置を設計、製作し、ビームラインに設置した。真空中からビームを取り出す窓には100nm厚の窒化シリコン薄膜を用いた。試料は3軸駆動可能なステージに取り付ける。このうちビームに垂直な方向はモーター駆動でリモートコントロールで動かすことができ、駆動範囲は20mmである。ビーム走査とステージの移動を組み合わせることによって最大で20mmの範囲の2次元元素マップを測定することが可能である。また、窒化シリコン膜と試料の距離は最小で0.2mmまで近付けることができる。PIXEによるX線は厚さ125mmのカプトン膜を通して真空中で測定される。この測定系を用いてビームエネルギー、窒化シリコン膜と試料の距離および試料が置かれているところの雰囲気(空気、ヘリウム)をパラメータとしてビームの大きさの測定を行なった。この結果窒化シリコン膜と試料の距離が0.2mmのときはビームを5μm以下に絞ることが可能であることが分かった。また、距離が1.7mmのときはエネルギーが2.5MeVで12〜13μm、1.7MeVで17μmであり、雰囲気をヘリウムにすることによってビーム径は30%程度小さくなることがわかった。また、窒化シリコン膜と試料の距離とX線検出の立体角のビーム位置依存性についてもデータを得た。定量分析に必要なビーム量の測定については、窒化シリコン膜中のシリコンの特性X線を測定することによって可能であることがわかった。これらの結果については、若狭湾エネルギー研究センターで開催された第22回PIXEシンポジウムにおいて発表した。
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Research Products
(1 results)
