多階層シミュレーションによる新規多様材料プラズマプロセスの量子論的理解

2018 Fiscal Year Abstract(Research Progress Assessment)

• Project/Area Number: 15H05736
• Research Category: Grant-in-Aid for Scientific Research (S)
• Allocation Type: Single-year Grants
• Research Field: Plasma electronics
• Research Institution: Osaka University
• Principal Investigator: Hamaguchi Satoshi 大阪大学, 工学研究科, 教授 (60301826)
• Co-Investigator(Kenkyū-buntansha): 笠井 秀明 明石工業高等専門学校, その他部局等, 校長 (00177354) ; Dino Wilson 大阪大学, 工学研究科, 准教授 (60379146)
• Project Period (FY): 2015-05-29 – 2020-03-31