2005 Fiscal Year Annual Research Report
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16206068
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| Research Institution | Nagaoka University of Technology |
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Principal Investigator |
斎藤 秀俊 長岡技術科学大学, 工学部, 教授 (80250984)
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| Co-Investigator(Kenkyū-buntansha) |
伊藤 治彦 長岡技術科学大学, 工学部, 助教授 (70201928)
西野 純一 長岡技術科学大学, 工学部, 助手 (70272862)
大塩 茂夫 長岡技術科学大学, 工学部, 教務職員 (90160473)
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| Keywords | ナノアーキテクチャー / 酸化物 / カソ-ドルミネッセンス / SEM / ZnO / ZnO2 / HfO2 / ウイスカー |
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| Research Abstract |
まず超高純度・超高結晶性ウイスカー合成のためのCVD装置で、高純度原料を用いてナノアーキテクチャーを作製した。次に電界放射走査型電子顕微鏡(FE-SEM)で試料を観察した。さらにFE-SEMに組み込んだカソードルミネセンス画像解析装置でアーキテクチャーの発光画像化をおこなった。
現有のFE-SEMに購入したカソードルミネセンス画像化装置を装着し、ルミネセンスを視覚化した。対象とする試料は、紫外線発光用ではZnOウイスカーとZrO_2-HfO_2ウイスカーである。これらを超高純度・超高結晶性ウイスカー合成のためのCVD装置で合成した。 ZnOでは結晶全面から380nmの紫外線が発光していることがわかった。結晶が完全性をもつであろう滑らかな結晶面では一様に発光しているものの、結晶欠陥となる双晶の結合部位などで発光が弱いところが見受けられた。一方、ZrO_2-HfO_2ウイスカーでは室温での発光強度が大変弱く、明確な画像は得られなかった。しかしながら、低倍率像において結晶全体から280nmの紫外線発光が得られているということがわかった。さらに220nmに自由励起子によるとおもわれる発光がわずかに観察された。
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