2005 Fiscal Year Annual Research Report
高効率で高出力な弾性表面波アクチュエータの実現に関する研究
| Project/Area Number |
16310096
|
|---|
| Research Institution | Tokyo Institute of Technology |
|---|
Principal Investigator |
黒澤 実 東京工業大学, 大学院・総合理工学研究科, 助教授 (70170090)
|
|---|
| Keywords | アクチュエータ / 超音波モータ / 圧電 / 弾性表面波 / MEMS / マイクロアクチュエータ / 超音波 / レイリー波 |
|---|
| Research Abstract |
弾性表面波モータの環流型ステータ電極の設計について再検討を行うために,電極設計と配置に関するシミュレータを再度構築し検討を進めた。この過程で,反射器の周波数特性の設計値からのずれが,環流特性に大きな影響を及ぼしうることを見いだし,その精細な設計が必要とされることがわかった。現状のステータ電極ついてその動作状態を明らかにする必要があることがわかったため,さらに検討を進めている。環流する波の位相ずれによる環流電力の低下につても計算を行い,数10°の位相回転により環流電力が極端に低下してしまうことを明らかにした。また,モータの動作特性を考えると,駆動電極配置が非対称に配置されている現状のデザインから,対称な配置への変更が可能であるかどうかの検討を進めている。
スライダ直下における,摩擦駆動面でのレイリー波位相回転については,有限要素法による接触・摩擦を含む時間応答解析によりシミュレーションを行った。現実的な計算機の,計算機容量と速度の問題から,2次元での波動伝搬解析を行った。シミュレーションの結果,スライダ突起による位相散乱が,スライダへの予圧により大きく変化する様子が再現された。特に,低予圧状態では,実験結果でもこれまでに得られているように,位相回転が負になる様子が確認された。
スライダが接触していることによる,レイリー波の伝搬速度変化は,高予圧下においては,ステータでの波動伝搬モードの変化によることも考えられ,そのメカニズムに関しては,さらに検討を要する。低予圧下での位相変化メカニズムとは異なることから,位相変化の少ないスライダが実現可能であるかどうか,さらに検討を行う必要がある。
|
Research Products
(4 results)
