Development of soft X-ray microscope in Water window wavelength region using Flash LPP light source

2016 Fiscal Year Annual Research Report

• Project/Area Number: 16H03902
• Research Institution: Tohoku University
• Principal Investigator: 江島 丈雄 東北大学, 多元物質科学研究所, 准教授 (80261478)
• Co-Investigator(Kenkyū-buntansha): 加道 雅孝 国立研究開発法人量子科学技術研究開発機構, 量子ビーム科学研究部門, 室長代理(定常) (30360431) ; 刀袮 重信 東京電機大学, 理工学研究科, 特別専任教授 (70211399) ; 東口 武史 宇都宮大学, 工学(系)研究科(研究院), 教授 (80336289)
• Project Period (FY): 2016-04-01 – 2019-03-31
• Keywords: Ⅹ線 / 量子ビーム / 軟Ⅹ線顕微鏡 / レーザー生成プラズマ光源

Outline of Annual Research Achievements

研究目的に基づき、平成28年度は下記の成果を達成した。
①　LPP光源の高輝度化方法には、a. UTA放射の利用、b. UTA放射を実現するための電子温度Teの高温化、c. 発生した軟Ⅹ線のプラズマによる再吸収を妨ぐためのプラズマ臨界密度ncの低密度化、の３つがあり、これを実現するために、ターゲットを重金属化することでa, bの目途が、また励起レーザーの開発も順調に進み、軟Ⅹ線顕微鏡に応用する目途がたった。一方で研究進展の結果、新たな高輝度化方法につながる現象を発見した。それは、窒素雰囲気下でLPP光源を使用する方法で、この方法により水の窓波長域の軟Ⅹ線強度が増大することが明らかになった。これはこれまで考えていた高輝度化とは異なり、比較的簡便な方法で高輝度化が達成できる可能性を示している。29年度は、軟Ⅹ線顕微鏡へ開発したレーザーを応用すると同時に、新たに発見した現象についても更に実験などを積み重ねていきたい。
②　28年度中は軟Ⅹ線顕微鏡の照明光学系に用いるトロイダル鏡の開発を行った。トロイダル基板上へ水の窓用反射多層膜の蒸着を行い光学評価を行った結果、平均で0.3程度の反射率を示すトロイダル鏡を開発することが出来た。今年度は①で開発した励起レーザーおよび開発したトロイダル鏡を組込み、実験室型軟Ⅹ線顕微鏡として完成させる。結像光学系部分の改良が遅れているので、PMMAを感光材とする高空間分解能の密着法による撮像を行うことを検討する。
③　主アポトーシス過程の撮像条件を探るために、各段階での変化が最も分かり易い撮像条件を探った結果、ある程度の目途が立った。またUVSORにおいて吸収スペクトルを計測したが、得られたスペクトルについてはまだ解析中である。当初の計画より、進行が遅れ気味である。今年度は、①②と合わせて実験を行うことで遅れを取り戻すことを検討する。

Current Status of Research Progress

2: Research has progressed on the whole more than it was originally planned.

Reason

本研究は高輝度フラッシュ軟Ⅹ線光源を用いた軟Ⅹ線顕微鏡による生物細胞試料の撮像を目指して、それぞれ３つのテーマに分かれて研究を推進している。28年度は、テーマごとに推進状況に長短はあったが概ね順調に進展したと考えている。特に軟Ⅹ線光源開発においては、従来、励起レーザーの最適化による高輝度化が主流だった方法に対し、新たにプラズマターゲットをガス雰囲気化に置くことによっても、得られる軟Ⅹ線の強度が増大する新たな現象を見つけることが出来た。これは、本研究成果として特筆すべき結果と考えている。その他の進行状況は以下の通りである。
①ターゲットを重金属化し、励起レーザーの開発を行った結果、新たに開発した軟Ⅹ線光源を軟Ⅹ線顕微鏡に応用する目途がたった。
②　軟Ⅹ線顕微鏡の照明光学系に用いるトロイダル鏡の開発を行った。トロイダル基板上へ水の窓用反射多層膜の蒸着を行い光学評価を行った結果、平均で0.3程度の反射率を示すトロイダル鏡を開発することが出来た。結像光学系部分の改良が遅れているので、PMMAを感光材とする高空間分解能の密着法による撮像を行うことを検討する。
③　前年度に引き続き、アポトーシス過程の軟Ⅹ線撮像を行う。染色剤等を変えてアポトーシス過程の各段階での変化が最も分かり易い撮像条件を探った結果、ある程度の目途が立った。得られた吸収スペクトルなどについては、解析中である。

Strategy for Future Research Activity

研究課題内の各テーマごとに進捗状況に多少違いはあるものの、全体としては概ね順調に推移していると考えている。

一点だけ予定外の推進状況があるのが、プラズマターゲットをガス雰囲気下に置くことによって得られる軟Ⅹ線の強度が増大する現象に関する部分で、これは、本研究成果として特筆すべき結果と考えており、将来的に高度に最適化された励起レーザーを使用しなくても市販のレーザーで高輝度軟Ⅹ線光源を達成できる可能性を示しており、かつ、同様の原理に基づく軟Ⅹ線光源は次世代半導体露光機用の光源としても使用されていることから、応用範囲が広くその原理・現象に関する研究は必須であると考えている。この件については、現象を明らかにするために、ターゲットの変更、ガス種の変更、励起レーザーの変更などの現有の装置でも実験可能な事が多いため、これらにより新たに発見した軟Ⅹ線強度増大現象の限界などを探ることにする。

その他の研究推進方策としては申請書と大幅な変更はないが、進行の遅れに伴い、軟Ⅹ線顕微鏡の結像光学系部分の改良が遅れているので、PMMAを感光材とする高空間分解能の密着法による撮像を行うことを検討する。また、アポトーシス過程の軟Ⅹ線撮像を行う。染色剤等を変えてアポトーシス過程の各段階での変化が最も分かり易い撮像条件を探った結果、ある程度の目途が立った。得られた吸収スペクトルなどについては解析方法について新たに検討を行う。

Research Products

• [Journal Article] Analysis of soft x-ray emission spectra of laser-produced dysprosium, erbium and thulium plasmas (2017)
  • Author(s): John Sheil, Padraig Dunne, Takeshi Higashiguchi, Domagoj Kos, Elaine Long, Takanori Miyazaki, Fergal O’Reilly, Gerard O’Sullivan, Paul Sheridan, Chihiro Suzuki, Emma Sokell, Elgiva White, and Deirdre Kilbane
  • Journal Title: Journal of Physics B Volume: 50 Pages: 065006-1-8
  • DOI: 10.1088/1361-6455/aa5e62
  • Peer Reviewed / Int'l Joint Research
• [Journal Article] Lasing and thermal characteristics of Yb:YAG/YAG composite with atomic diffusion bonding (2017)
  • Author(s): Siva Sankar Nagisetty, Patricie Severova, Taisuke Miura, Martin Smrz, Hitoe Kon, Miyuki Uomoto, Takehito Shimatsu, Masato Kawasaki, Takeshi Higashiguchi, Akira Endo, and Tomas Mocek
  • Journal Title: Laser Physics Letters Volume: 14 Pages: 015001-1-6
  • DOI: 10.1088/1612-202X/14/1/015001
  • Peer Reviewed / Int'l Joint Research
• [Journal Article] Analysis of unresolved transition arrays in XUV spectral region from highly charged lead ions produced by subnanosecond laser pulse (2017)
  • Author(s): Tao Wu, Takeshi Higashiguchi, Bowen Li, Goki Arai, Hiroyuki Hara, Yoshiki Kondo, Takanori Miyazaki, Thanh-Hung Dinh, Fergal O’Reilly, Emma Sokell, and Gerry O’Sullivan
  • Journal Title: Optics Communications Volume: 385 Pages: 143-152
  • DOI: 10.1016/j.optcom.2016.10.053
  • Peer Reviewed / Int'l Joint Research
• [Journal Article] Extreme ultraviolet spectroscopy and atomic models of highly charged heavy ions in the Large Helical Device (2017)
  • Author(s): Chihiro Suzuki, Izumi Murakami, Fumihiro Koike, Naoki Tamura, Hroyuki A. Sakaue, Shigeru Morita, Motoshi Goto, Daiji Kato, Hayato Ohashi, Takeshi Higashiguchi, Shigeru Sudo, and Gegard O’Sullivan
  • Journal Title: Plasma Physics and Controlled Fusion Volume: 59 Pages: 014009-1-8
  • DOI: 10.1088/0741-3335/59/1/014009
  • Peer Reviewed / Int'l Joint Research
• [Journal Article] Source Development for Extreme Ultraviolet Lithography and Water Window Imaging (2017)
  • Author(s): Gerard O’Sullivan, Padraig Dunne, Deirdre Kilbane, Luning Liu, Ragava Lokasani, Elaine Long, Bowen Li, Thomas McCormack, Fergal O’Reilly, John Sheil, Emma Sokell, Chihiro Suzuki, Tao Wu, and Takeshi Higashiguchi
  • Journal Title: AIP Proceedings Volume: 1811 Pages: 170001-1-8
  • DOI: http://dx.doi.org/10.1063/1.4975742
  • Peer Reviewed / Open Access / Int'l Joint Research
• [Journal Article] Stable Encapsulation Method during Soft X-ray Irradiation for Hydrated Samples (2016)
  • Author(s): T. Ejima, Masataka Kado, Masahiko Ishino
  • Journal Title: SPring-8 Section A: Scientific Research Report Volume: 4 Pages: 157-160
  • DOI: 10.18957/rr.4.2.157
  • Peer Reviewed / Open Access
• [Journal Article] Characteristics of the soft X-ray emission from laser-produced highly charged platinum plasmas (2016)
  • Author(s): H. Hara, G. Arai, Y. Kondo, T. Dinh, P. Dunne, G. O’Sullivan, T. Ejima, T. Hatano, W. Jiang, M. Nishikino, A. Sasaki, A. Sunahara, T. Higashiguchi
  • Journal Title: Applied Physics Express Volume: 9 Pages: 066201-1-4
  • DOI: 10.7567/APEX.9.066201
  • Peer Reviewed / Open Access / Int'l Joint Research
• [Journal Article] Soft X-ray emission from molybdenum plasmas generated by dual laser pulses (2016)
  • Author(s): R. Lokasani, G. Arai, Y. Kondo, H. Hara, T. Dinh, T. Ejima, T. Hatano, W. Jiang, T. Makimura, B. Li, P. Dunne, G. O'Sullivan, T. Higashiguchi, J. Limpouch
  • Journal Title: Applied Physics Letters Volume: 109 Pages: 194103-1-5
  • DOI: 10.1063/1.4967310
  • Peer Reviewed / Open Access / Int'l Joint Research
• [Journal Article] Evaluation of a flat-field grazing incidence spectrometer for highly charged ion plasma emission in soft x-ray spectral region from 1 to 10 nm (2016)
  • Author(s): T. Dinh, Y. Kondo, T. Tamura, Y. Ono, H. Hara, H. Oikawa, Y. Yamamoto, M. Ishino, M. Nishikino, T. Makimura, P. Dunne, G. O'Sullivan, S. Ohta, K. Kitano, T. Ejima, T. Hatano, T. Higashiguchi
  • Journal Title: Review of Scientific Instrumentats Volume: 87 Pages: 123106-1-7
  • DOI: 10.1063/1.4971421
  • Peer Reviewed / Open Access / Int'l Joint Research
• [Journal Article] 軟Ⅹ線顕微鏡用サイドエントリー型３軸ゴニオメータの開発 (2016)
  • Author(s): 江島丈雄
  • Journal Title: 真空ジャーナル Volume: 156 Pages: 10-14
• [Journal Article] Role of Indoleamine 2,3-Dioxygenase and Tryptophan 2,3-Dioxygenase in Patients with Recurrent Miscarriage (2016)
  • Author(s): Obayashi Y, Ozaki Y, Goto S, Obayashi S, Suzumori N, Ohyama F, Tone S, Sugiura-Ogasawara M.
  • Journal Title: Am J Reprod Immunol. Volume: 75(1) Pages: 69-77
  • DOI: 10.1111/aji.12434
  • Peer Reviewed
• [Journal Article] Distribution of DNA and Protein in Mammalian Cell Nuclei calculated using NEXAFS profiles at the N-K and O-K edges (2016)
  • Author(s): A. Ito, T. Ohigashi, K. Shinohara, S. Tone, M. Kado, Y. Inagaki and N. Kosugi
  • Journal Title: UVSOR Activity Report Volume: 2015 Pages: 143-143
• [Journal Article] Characteristics of extreme ultraviolet emission from high-Z plasmas (2016)
  • Author(s): Hayato Ohashi, Takeshi Higashiguchi, Yuhei Suzuki, Masato Kawasaki, Chihiro Suzuki, Kentaro Tomita, Masaharu Nishikino, Shinsuke Fujioka, Akira Endo, Bowen Li, Takamitsu Otsuka, Padraig Dunne, and Gerry O’Sullivan
  • Journal Title: Journal of Physics: Conference Series Volume: 688 Pages: 012079-1-4
  • DOI: 10.1088/1742-6596/688/1/012079
  • Peer Reviewed / Int'l Joint Research
• [Journal Article] Beyond Extreme Ultra Violet (BEUV) Radiation from Spherically symmetrical High-Z plasmas (2016)
  • Author(s): Kensuke Yoshida, Shinsuke Fujioka, Takeshi Higashiguchi, Teruyuki Ugomori, Nozomi Tanaka, Masato Kawasaki, Yuhei Suzuki, Chihiro Suzuki, Kentaro Tomita, Ryouichi Hirose, Takeo Ejima, Hayato Ohashi, Masaharu Nishikino, Enda Scally, Hiroaki Nshimura, Hiroshi Azechi, and Gerard O’Sullivan
  • Journal Title: Journal of Physics: Conference Series Volume: 688 Pages: 012046-1-4
  • DOI: 10.1088/1742-6596/688/1/012046
  • Peer Reviewed / Int'l Joint Research
• [Journal Article] レーザー生成プラズマEUV光源の最近の動向 (2016)
  • Author(s): 東口 武史
  • Journal Title: 放射線化学 Volume: 102 Pages: 3-9
• [Presentation] アポトーシス研究におけるエレクトロポレーション法の優位性について (2017)
  • Author(s): 刀祢重信
  • Organizer: 第１２２回日本解剖学会
  • Place of Presentation: 長崎大学、長崎県長崎市
  • Year and Date: 2017-03-30
• [Presentation] N2ガス中レーザー生成プラズマからの水の窓軟Ｘ線発光強度 (2017)
  • Author(s): 江島丈雄, 岸本牧, 篠原邦夫, 加道雅孝, 小田切 誠, 角中 昇, 難波慎一
  • Organizer: 第64回応用物理学会春季学術講演会
  • Place of Presentation: パシフィコ横浜（神奈川県横浜市）
  • Year and Date: 2017-03-15
• [Presentation] He ガス中レーザー生成プラズマからの8-30nm 軟Ⅹ線発光強度 (2017)
  • Author(s): 江島丈雄、山木賢一
  • Organizer: 第64回応用物理学会春季学術講演会
  • Place of Presentation: パシフィコ横浜（神奈川県横浜市）
  • Year and Date: 2017-03-15
• [Presentation] 炭素の窓軟X線光源のスペクトル解析 (2016)
  • Author(s): 原 広行，荒居 剛己，Dinh Thanh-Hung，近藤 芳希，田村 賢紀，小野 祐一，佐々木 明，東口 武史
  • Organizer: 平成28年度核融合科学研究所一般共同研究会・原子分子データ応用フォーラムセミナー合同研究会「プラズマ科学における分光計測の高度化と原子分子過程研究の新展開」
  • Place of Presentation: 核融合科学研究所 (岐阜県土岐市)
  • Year and Date: 2016-12-20
• [Presentation] ガス雰囲気下におけるレーザー生成プラズマからの軟Ｘ線発光強度 (2016)
  • Author(s): 江島丈雄、山木賢一、岸本牧、篠原邦夫、加道雅孝
  • Organizer: レーザー励起Ⅹ線源とその応用研究会
  • Place of Presentation: ほほえみの宿滝の湯（山形県天童市）
  • Year and Date: 2016-12-15 – 2016-12-16
• [Presentation] EUV・軟X線光源データベース実験とレーザー開発 (2016)
  • Author(s): 東口武史
  • Organizer: 高強度レーザー・ビーム技術と短波長光源に関する研究会 [電気学会・東京支部新潟支所講演会]
  • Place of Presentation: まちなかキャンパス長岡 (新潟県長岡市)
  • Year and Date: 2016-12-09
• [Presentation] Recent Results on EUV and Soft X-Ray Emission from Laser Produced Plasmas (2016)
  • Author(s): Gerry O’Sullivan, Padraig Dunne, Takeshi Higashiguchi, Deirdre Kilbane, Domagoj Kos, Luning Liu, Oisin Maguire, Takanori Miyazaki, Fergal O’Reilly, John Sheil, Emma Sokell, Chihiro Suzuki, and Tao Wu
  • Organizer: 高強度レーザー・ビーム技術と短波長光源に関する研究会 [電気学会・東京支部新潟支所講演会]
  • Place of Presentation: まちなかキャンパス長岡 (新潟県長岡市)
  • Year and Date: 2016-12-09
  • Int'l Joint Research
• [Presentation] 高強度ベクトルビームパルスの発生とシングルショット偏光検出によるSTED顕微鏡への応用 (2016)
  • Author(s): 若山 俊隆，及川 大基，笹沼 淳史，荒居 剛己，藤井 雄介，ヂン タンフン，東口 武史
  • Organizer: 高強度レーザー・ビーム技術と短波長光源に関する研究会 [電気学会・東京支部新潟支所講演会]
  • Place of Presentation: まちなかキャンパス長岡 (新潟県長岡市)
  • Year and Date: 2016-12-09
• [Presentation] 炭素の窓軟X線光源のスペクトル制御 (2016)
  • Author(s): 原 広行，荒居 剛己，Dinh Thanh-Hung，佐々木 明，東口 武史
  • Organizer: 高強度レーザー・ビーム技術と短波長光源に関する研究会 [電気学会・東京支部新潟支所講演会]
  • Place of Presentation: まちなかキャンパス長岡 (新潟県長岡市)
  • Year and Date: 2016-12-09
• [Presentation] 高出力・高繰り返し短パルスレーザーについての研究 (2016)
  • Author(s): 藤井 雄介，三浦 泰祐，Tomas Mocek．東口 武史
  • Organizer: 高強度レーザー・ビーム技術と短波長光源に関する研究会 [電気学会・東京支部新潟支所講演会]
  • Place of Presentation: まちなかキャンパス長岡 (新潟県長岡市)
  • Year and Date: 2016-12-09
• [Presentation] Profilins suppress the apoptosis induced by cytoskeletal 15kDa-β-actin in cancer cell lines (2016)
  • Author(s): N. Ito, H. Honda, S. Tone, M. Tanaka
  • Organizer: The American Society for Cell Biology Annual Meeting
  • Place of Presentation: Moscone Center, San Francisco, US
  • Year and Date: 2016-12-03 – 2016-12-07
  • Int'l Joint Research
• [Presentation] プラズマ中の重元素多価イオンからの極端紫外スペクトルに関する系統的研究 (2016)
  • Author(s): 鈴木 千尋，村上 泉，小池 文博，東口 武史，坂上 裕之，田村 直樹，須藤 滋，Gerry O’Sullivan
  • Organizer: プラズマ・核融合学会第33回年会
  • Place of Presentation: 東北大学 (宮城県仙台市)
  • Year and Date: 2016-11-30
  • Invited
• [Presentation] Unresolved Transition Array (UTA) Emission from Highly-charged Ions in Heavy-element Plasmas by a Dual-laser Pulse Irradiation (2016)
  • Author(s): Takeshi Higashiguchi
  • Organizer: International Workshop on EUV and Soft X-Ray Sources (2016 Source Workshop)
  • Place of Presentation: Amsterdam Science Park Congress Centre, Science Park, Amsterdam, Netherlands
  • Year and Date: 2016-11-09
  • Int'l Joint Research
• [Presentation] Recent results in Utsunomiya University: from laboratory experiments to extreme condition experiments (2016)
  • Author(s): T. Hihashiguchi
  • Organizer: Ireland Japan Collaboration Workshop,
  • Place of Presentation: University College Dublin, Dublin, Ireland
  • Year and Date: 2016-11-03
  • Int'l Joint Research
• [Presentation] Soft x-ray spectroscopy of Dy, Er, and ions excited in laser-produced plasmas (2016)
  • Author(s): John Sheil, Takeshi Higashiguchi, Domagoj Kos, Takanori Miyazaki, Fergal O’Reilly, Gerry O’Sullivan, Emma Sokell, Chihiro Suzuki, and Deirdre Kilbane
  • Organizer: Ireland Japan Collaboration Workshop
  • Place of Presentation: University College Dublin, Dublin, Ireland
  • Year and Date: 2016-11-03
  • Int'l Joint Research
• [Presentation] Emission spectroscopy of laser-produced and electron beam ion trap plasmas with high-Z elements in extreme ultraviolet and soft x-ray region (2016)
  • Author(s): Hayato Ohashi, Hiroyuki Hara, Goki Arai, Yoshiki Kondo, Thanh-Hung Dinh, Bowen Li, Padraig Dunne, Gerry O’Sullivan, Nobuyuki Nakamura, Hiroyuki A. Sakaue, Daiji Kato, Izumi Murakami, and Takeshi Higashiguchi
  • Organizer: The 10th International Conference on Atomic and Molecular Data and Their Applications (ICAMDATA 2016)
  • Place of Presentation: Gunsan, Republic of Korea
  • Year and Date: 2016-09-26
  • Int'l Joint Research / Invited
• [Presentation] Fundamental atomic data for fusion, lithography and other applications (2016)
  • Author(s): Bowen Li, Xi-Meng Chen, Takeshi Higashiguchi, Chen-Zhong Dong, Hayato Ohashi, Padraig Dunne, Gerry O’Sullivan
  • Organizer: The 10th International Conference on Atomic and Molecular Data and Their Applications (ICAMDATA 2016)
  • Place of Presentation: Gunsan, Republic of Korea
  • Year and Date: 2016-09-26
  • Int'l Joint Research / Invited
• [Presentation] Opacity effects on soft X-ray spectra from highly charged lanthanide ions in laser-produced plasmas (2016)
  • Author(s): Chihiro Suzuki, Takeshi Higashiguchi, Atsushi Sasanuma, Goki Arai, Yusuke Fujii, Yoshiki Kondo, Thanh-Hung Dinh, Fumihiro Koike, Izumi Murakami, and Gerry O'Sullivan
  • Organizer: 18th in a series of International Conferences on the Physics of Highly Charged Ions (HCI 2016)
  • Place of Presentation: the Jan Kochanowski University (UJK), Kielce, Porland
  • Year and Date: 2016-09-15
  • Int'l Joint Research
• [Presentation] Spectroscopy of highly charged ions for extreme ultraviolet lithography (2016)
  • Author(s): Gerry O’Sullivan, Padraig Dunne, Fergal O’Reilly, Emma Sokell, and Takeshi Higashiguchi
  • Organizer: 18th in a series of International Conferences on the Physics of Highly Charged Ions (HCI 2016)
  • Place of Presentation: the Jan Kochanowski University (UJK), Kielce, Porland
  • Year and Date: 2016-09-14
  • Int'l Joint Research / Invited
• [Presentation] 多価イオンプラズマ計測用軟X 線射入射分光器の絶対較正 (2016)
  • Author(s): ヂン タンフン、近藤芳希、田村賢紀、荒居剛己、牧村哲也、太田茂、北野謙、山本洋一、石野雅彦、錦野将元、江島丈雄、羽多野忠、東口武史
  • Organizer: 第77回応用物理学会秋季学術講演会
  • Place of Presentation: 朱鷺メッセ（新潟県新潟市）
  • Year and Date: 2016-09-13
• [Presentation] 波長 4.0 nm 斜入射ミラー用 Cr/Sc/Mo 多層膜の開発 (2016)
  • Author(s): 羽多野忠、江島丈雄
  • Organizer: 第77回応用物理学会秋季学術講演会
  • Place of Presentation: 朱鷺メッセ（新潟県新潟市）
  • Year and Date: 2016-09-13
• [Presentation] QUANTITATIVE STUDY OF MAMMALIAN CELLS BY SCANNING TRANSMISSION SOFT X-RAY MICROSCOPY (2016)
  • Author(s): 篠原邦夫, 大東琢治, 刀祢重信, 加道雅孝, 伊藤敦
  • Organizer: X-Ray Microscopy Conference 2016
  • Place of Presentation: Oxford University, UK
  • Year and Date: 2016-08-15 – 2016-08-19
  • Int'l Joint Research
• [Presentation] Organelle Distribution in a Hydrated Bio-cell by Correlation between Soft X-ray and Fluorescence Images (2016)
  • Author(s): T. Ejima, M. Kado, M. Aoyama, K. Yasuda, S. Tamotsu
  • Organizer: 13th International Conference on X-ray Microscopy
  • Place of Presentation: Oxford University, Oxford, UK
  • Year and Date: 2016-08-15 – 2016-08-19
  • Int'l Joint Research
• [Presentation] Stacked tri-layer structure reflecting soft X-rays in the water window region (2016)
  • Author(s): T. Hatano, T. Ejima
  • Organizer: The 3rd CWRU-Tohoku Joint Workshop
  • Place of Presentation: Tohoku Univ., Sendai, Japan
  • Year and Date: 2016-08-09 – 2016-08-10
  • Int'l Joint Research
• [Presentation] Fundamental Atomic Process in Source Development for Beyond EUV Lithography and other applications (2016)
  • Author(s): Bowen Li, Xi-Meng Chen, Xi-Yu Qiu, Takeshi Higashiguchi, Hayato Ohashi, Chen-Zhong Dong, Padraig Dunne, and Gerry O’Sullivan
  • Organizer: The 6th China-Japan-Korea Joint Seminar on Atomic and Molecular Processes in Plasma (AMPP 2016)
  • Place of Presentation: Nuclear Industry Southwest Physics Academe, Chengdu, China
  • Year and Date: 2016-07-26
  • Int'l Joint Research / Invited
• [Presentation] レーザー生成プラズマ軟X線光源の開発 (2016)
  • Author(s): ヂン タンフン，天野 玲保，笹沼 淳史，荒居 剛己，藤井 雄介，高橋 昭彦，中村 大輔，岡田 龍雄，三浦 泰祐，錦野 将元，東口 武史
  • Organizer: レーザーのカオス・ノイズダイナミクスとその応用研究会
  • Place of Presentation: 日亜化学工業株式会社横浜技術研究所（神奈川県横浜市）
  • Year and Date: 2016-07-19
• [Presentation] EUV spectroscopy and atomic models of highly charged heavy ions in the Large Helical Device (2016)
  • Author(s): Chihiro Suzuki, Izumi Murakami, Fumihiro Koike, Naoki Tamura, Hroyuki A. Sakaue, Shigeru Morita, Motoshi Goto, Daiji Kato, Hayato Ohashi, Takeshi Higashiguchi, Shigeru Sudo, and Gegard O’Sullivan
  • Organizer: The 43rd European Physical Society Conference on Plasma Physics
  • Place of Presentation: Leuven, Belgium
  • Year and Date: 2016-07-05
  • Int'l Joint Research / Invited
• [Presentation] Three element multilayer reflector for condenser optic in water window soft X-ray microscope (2016)
  • Author(s): T. Hatano, T. Ejima
  • Organizer: The 39th International conference on Vacuum Ultraviolet and X-ray Physics
  • Place of Presentation: ETH Zurich, Zurich, Switzerland
  • Year and Date: 2016-07-03 – 2016-07-08
  • Int'l Joint Research
• [Presentation] Feature of unresolved transition array emission in carbon window soft x-ray spectral region from a laser-produced Platinum plasma: Structure of enhancement and absorption of the soft x-ray emission (2016)
  • Author(s): Hiroyuki Hara, Goki Arai, Thanh-Hung Dinh, Sasaki Akira, Atsushi Sunahara, and Takeshi Higashiguchi
  • Organizer: 18th International Congress on Plasma Physics (ICPP 2016)
  • Place of Presentation: Kaohsiung Exhibition Center, Kaohsiung, Taiwan
  • Year and Date: 2016-06-28
  • Int'l Joint Research
• [Presentation] Efficient EUV and soft x-ray sources with unresolved transition array from highly charged ions in high-Z plasmas (2016)
  • Author(s): Takeshi Higashiguchi
  • Organizer: 23rd International Conference on Spectral Line Shapes
  • Place of Presentation: Culture and Congress Centre Jordanki, Toru, Poland
  • Year and Date: 2016-06-21
  • Int'l Joint Research
• [Presentation] A 10-Hz short pulse CO2 laser system for extreme ultraviolet source (2016)
  • Author(s): Reiho Amano, Thanh-Hung Dinh, Atsushi Sasanuma, Goki Arai, Yusuke Fujii, Akihiko Takahashi, Daisuke Nakamura, Tatsuo Okada, Taisuke Miura, and Takeshi Higashiguchi
  • Organizer: 15th International Conference on X-Ray Lasers 2016
  • Place of Presentation: Nara Kasugano International Forum, Iraka, Nara
  • Year and Date: 2016-05-24
  • Int'l Joint Research
• [Presentation] Characteristics of water window soft x-ray emission from dual laser-produced Bi plasmas (2016)
  • Author(s): Goki Arai, Hiroyuki Hara, Thanh-Hung Dinh, Masaharu Nishikino, Akira Sasaki, Atsushi Sunahara, and Takeshi Higashiguchi
  • Organizer: 15th International Conference on X-Ray Lasers 2016
  • Place of Presentation: Nara Kasugano International Forum, Iraka, Nara
  • Year and Date: 2016-05-24
  • Int'l Joint Research
• [Presentation] Feature of soft x-ray emission from laser-produced multi-charged Pt ions (2016)
  • Author(s): Hiroyuki Hara, Goki Arai, Thanh-Hung Dinh, Masaharu Nishikino, Akira Sasaki, Atsushi Sunahara, and Takeshi Higashiguchi
  • Organizer: 15th International Conference on X-Ray Lasers 2016
  • Place of Presentation: Nara Kasugano International Forum, Iraka, Nara
  • Year and Date: 2016-05-24
  • Int'l Joint Research
• [Presentation] Development of soft X-ray microscope in Water Window using laser produced plasma light source (2016)
  • Author(s): T. Ejima, Y. Kondo, Y. Ono, T. -H. Dinh, T. Higashiguchi, T. Hatano
  • Organizer: The 15th International Conference on X-Ray Lasers
  • Place of Presentation: Nara Kasugano International Forum, Iraka, Nara
  • Year and Date: 2016-04-22 – 2016-04-27
  • Int'l Joint Research
• [Presentation] Evaluation of a flat-field grazing incidence spectrometer for highly charged ion plasma emission in 1－10 nm (2016)
  • Author(s): Y. Kondo, T. Dinh, T. Tamura, S. Ohta, K. Kitano, T. Ejima, T. Hatano, T. Higashiguchi
  • Organizer: The 15th International Conference on X-Ray Lasers
  • Place of Presentation: Nara Kasugano International Forum, Iraka, Nara
  • Year and Date: 2016-04-22 – 2016-04-27
  • Int'l Joint Research
• [Presentation] 重元素高温プラズマの生成と多価イオンプラズマのトムソン散乱診断 (2016)
  • Author(s): ヂン タンフン，東口 武史，藤岡 慎介，松隈 啓，松尾 一輝，Law King Fai Farley，大島 亜弓，原 広行，宜寿次 拓弥，田村 賢紀，富田 健太郎，佐藤 祐太，江口 寿明，鈴木 千尋，佐々木 明，砂原 淳
  • Organizer: レーザー研シンポジウム2016
  • Place of Presentation: 大阪大学銀杏会館 (大阪府吹田市)
  • Year and Date: 2016-04-19
• [Presentation] 重元素による軟X線-EUV光源プラズマの放射流体解析とCRモデルの改良 (2016)
  • Author(s): ヂン タンフン，東口 武史，藤岡 慎介，長友 英夫，砂原 淳
  • Organizer: レーザー研シンポジウム2016
  • Place of Presentation: 大阪大学銀杏会館 (大阪府吹田市)
  • Year and Date: 2016-04-19
• [Presentation] 高輝度軟X線源を用いた軟X線顕微鏡による細胞内器官の高解像観察 (2016)
  • Author(s): 加道雅孝
  • Organizer: レーザー研シンポジウム2016
  • Place of Presentation: 大阪大学（大阪府吹田市）
  • Year and Date: 2016-04-16
• [Presentation] Source development for extreme ultraviolet lithography and water window imaging (2016)
  • Author(s): Gerard O’Sullivan, Padraig Dunne, Deirdre Kilbane, Luning Liu, Ragava Lokasani, Elaine Long, Bowen Li, Thomas McCormack, Fergal O’Reilly, John Sheil, Emma Sokell, Chihiro Suzuki, Tao Wu, and Takeshi Higashiguchi
  • Organizer: 19th International Conference on Atomic Processes in Plasmas
  • Place of Presentation: Congress Center Les Cordeliers, Paris, France
  • Year and Date: 2016-04-06
  • Int'l Joint Research / Invited
• [Patent(Industrial Property Rights)] 軟Ｘ線光源および露光装置 (2016)
  • Inventor(s): 江島丈雄、加道雅孝、篠原邦夫、岸本牧
  • Industrial Property Rights Holder: 東北大学
  • Industrial Property Rights Type: 特許
  • Industrial Property Number: 特願2016-160860
  • Filing Date: 2016-08-16
• [Patent(Industrial Property Rights)] 広帯域レーザー出力装置 (2016)
  • Inventor(s): 東口 武史
  • Industrial Property Rights Holder: 宇都宮大学
  • Industrial Property Rights Type: 特許
  • Industrial Property Number: 特願2016-127278
  • Filing Date: 2016-06-28