Micro Multi-DOF Magnetic Actuators Using Micro Magnetization Technology

2018 Fiscal Year Final Research Report

• Project/Area Number: 16H04254
• Research Category: Grant-in-Aid for Scientific Research (B)
• Allocation Type: Single-year Grants
• Section: 一般
• Research Field: Design engineering/Machine functional elements/Tribology
• Research Institution: Tokyo Institute of Technology
• Principal Investigator: SHINSHI Tadahiko 東京工業大学, 科学技術創成研究院, 教授 (60272720)
• Research Collaborator: NAKANO Masaki ; HIJIKATA Wataru ; NAGAMINE Yasuyuki ; MATSUTANI Akihiro ; HAN Dong ; SUZUKI Kenichi ; KADOTA Shogo
• Project Period (FY): 2016-04-01 – 2019-03-31
• Keywords: 磁石 / 微細加工 / 微細着磁 / パルスレーザ堆積法 / 放電加工 / レーザ局所加熱 / マイクロアクチュエータ

Outline of Final Research Achievements

In this project, we studied a thin plate machining method for sintered NdFeB magnet with small damage and a thick film magnet deposition method using PLD (pulsed laser deposition). Micro processing and micro magnetization utilizing laser assisted heating were also studied for the magnet. By combining these results with conventional MEMS technology, multi-degree-of-freedom micro actuators which can be used for mobile devices such as smart phones were proposed, fabricated and evaluated.

Free Research Field

精密工学，メカトロニクス

Academic Significance and Societal Importance of the Research Achievements

焼結ネオジム磁石は，自動車，家電，情報機器などのアクチュエータに多く使われている材料である．しかしながら，磁石サイズを１ｍｍ以下に加工しようとすると，材料劣化の影響で十分な磁気特性が発現できない．また，MEMSプロセスで使われる磁石は扁平になるが，多極に着磁しないと十分な磁束を発生できない．これらの問題を解決するため，薄板（厚膜）磁石の製作方法や，レーザを使った新しい微細着磁法を本研究で開発した．また，これらの技術を用いることで実現可能なマイクロアクチュエータを提案，試作，評価している．