2018 Fiscal Year Annual Research Report
Ultra high-throughput evaluation technology for materials using integrated MEMS
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16H04300
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| Research Institution | Nagoya University |
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Principal Investigator |
秦 誠一 名古屋大学, 工学研究科, 教授 (50293056)
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| Project Period (FY) |
2016-04-01 – 2019-03-31
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| Keywords | ナノマイクロメカトロニクス / ＭＥＭＳ / コンビナトリアル技術 / 材料創成 |
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| Outline of Annual Research Achievements |
本研究の目的は，ＭＥＭＳ技術とコンビナトリアル技術を応用・融合した新しい超ハイスループット評価技術を開拓し，新エネルギー，省エネルギーや耐環境材料，医療技術，細胞観察などグリーン／ライフ・イノベーションにつながる新材料の効率的・迅速な創成に資することである．
本研究期間では，数ミリ角，厚さ数十マイクロメートルオーダの多種多数個の薄膜サンプルを，ＭＥＭＳ技術を応用し同時または別個に加振すると共に，その振動状態をセンシングすることで，各種物性を超ハイスループット評価することができる集積化ＭＥＭＳ薄膜ライブラリを製作する．これを用いて広角スキャナ用高弾性高疲労強度材料や，超小型トルクセンサ用高性能磁歪材料などイノベーションに資する新材料の超ハイスループット評価が可能であることを実証する．
本年度は，１）加振型集積化ＭＥＭＳ薄膜ライブラリのチューニングとして，これまでの試作により明らかとなった問題点を解決し，高疲労強度材料探索用および磁歪材料探索用の加振型集積化ＭＥＭＳ薄膜ライブラリを製作した．２）加振型集積化ＭＥＭＳ薄膜ライブラリの高集積化の検討として，集積数は使用できるプロセス装置の成膜範囲などの制約から５×５（２５個）とし．，多数同時計測によるハイスループット評価が可能であることを実証した．３）グリーン／ライフ・イノベーションに資する新材料の探索と実用化として，研究目標に掲げた高疲労強度材料と，磁歪材料のハイスループット評価を試みた．組成の最適化までは至らなかったが，高疲労強度材料として，NiZrTi系材料を，磁歪材料としてFeNiCo系材料のハイスループット評価に成功した．以上の成果は１編の査読付雑誌論文と国際学会発表4件の計5件の学会発表にて公表した．
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| Research Progress Status |
平成30年度が最終年度であるため、記入しない。
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| Strategy for Future Research Activity |
平成30年度が最終年度であるため、記入しない。
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