2018 Fiscal Year Annual Research Report
Observation of the femto second laser ablation process by the soft x-ray laser probe towards the control of laser nano-processing
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16K04989
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| Research Institution | National Institutes for Quantum and Radiological Science and Technology |
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Principal Investigator |
長谷川 登 国立研究開発法人量子科学技術研究開発機構, 関西光科学研究所 光量子科学研究部, 主幹研究員(定常) (50360409)
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| Co-Investigator(Kenkyū-buntansha) |
錦野 将元 国立研究開発法人量子科学技術研究開発機構, 関西光科学研究所 光量子科学研究部, グループリーダー(定常) (70370450)
石野 雅彦 国立研究開発法人量子科学技術研究開発機構, 関西光科学研究所 光量子科学研究部, 主幹研究員(定常) (80360410)
難波 愼一 広島大学, 工学研究科, 教授 (00343294)
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| Project Period (FY) |
2016-04-01 – 2019-03-31
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| Keywords | フェムト秒レーザー / アブレーション / レーザー加工 / 軟Ｘ線顕微鏡 / 時間分解計測 |
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| Outline of Annual Research Achievements |
平成30年度は、これまでに開発した「軟Ｘ線レーザーをプローブ光とする干渉顕微鏡」を「金属サンプルに対するマルチショットでのフェムト秒レーザーアブレーションダイナミクスの観測」に適応することに成功した。
フェムト秒レーザーによる加工・表面改質では、レーザーを同じ場所に複数回照射する、いわゆるマルチショットによる施工が行われているが、そのメカニズム及びダイナミクスの学術的な理解は不十分である。今回は、モリブデンをサンプルとして、1ショット目から10ショット目におけるダイナミクスの観測をそれぞれ行った。1ショットでは飛翔体がほとんど観測されない照射強度（~ 0.2 J/cm2）において、2ショット目以降から飛翔体が明確に観測されることを明らかにした。本計測と合わせてフェムト秒レーザーのサンプルに対する吸収率をショット毎に計測・比較することで、ショット毎のアブレーションの変化が各ショット後のサンプルの表面形状の変化に由来する事を明らかにした。マルチショットアブレーションのダイナミクスの観測が可能となったことで、フェムト秒レーザー特有の高精度な表面加工及び表面改質のメカニズムの解明が期待される。
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[Journal Article] Enhancement of water-window soft x-ray emission from laser-produced Au plasma under low-pressure nitrogen atmosphere2019
Author(s)
Christian John, 岸本 牧, Tomoyuki Johzaki, Takeshi Higashiguch, Noboru Kakunaka, Yasuhiro Matsumoto, 長谷川 登, 錦野 将元, Takeo Ejima, Atsushi Sunahara, Takuma Endo
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Journal Title
Optics Letters
Volume: 44
Pages: 1439, 1442
Peer Reviewed / Int'l Joint Research
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[Presentation] Ablation of silicon using femtosecond extreme ultraviolet laser2019
Author(s)
タンフン ヂン, Nikita Medvedev, 石野 雅彦, 長谷川 登, 今 亮, 犬伏 雄一, 大和田 成起, 原 広行, 東口 武史, 坂上 和之, 鷲尾 方一, 羽多野 忠, 錦野 将元
Organizer
レーザー学会学術講演会第39回年次大会
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[Presentation] EUV Laser Ablation and Damage Examination2018
Author(s)
石野 雅彦, タンフン ヂン, 北村 俊幸, 長谷川 登, 錦野 将元, 坂上 和之, 鷲尾 方一, 東口 武史, 市丸 智, 岡本 一将, 古澤 孝弘, 末元 徹, 木下 博雄, Tatiana Pikuz, Anatoly Faenov
Organizer
SACLA Users' Meeting 2018
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[Presentation] Water window soft X-ray emission from Au plasmas generated with a picosecond laser pulse2018
Author(s)
N. Kakunaka, C. John, 岸本 牧, Y. Matsumoto, 長谷川 登, 錦野 将元, T. Higashiguch, T. Ejima, A. Sunahara, F. Nakajima, T. Johzaki, T. Endo, S. Namba
Organizer
2nd Asia-Pacific Conference on Plasma Physics (AAPPS-DPP2018)
Int'l Joint Research
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[Presentation] Anomalous enhancement of water window X-rays emitted from laser produced Au plasma under low-pressure nitrogen atmosphere2018
Author(s)
S. Namba, 岸本 牧, C. John, N. Kakunaka, Y. Matsumoto, 長谷川 登, 錦野 将元, T. Higashiguchi, T. Ejima, A. Sunahara, T. Johzaki
Organizer
2nd Asia-Pacific Conference on Plasma Physics (AAPPS-DPP2018)
Int'l Joint Research
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