2017 Fiscal Year Annual Research Report
Proof-of-Concept of Novel Three Dimensional Atom Probe without Needle Structured Sample
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16K13685
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| Research Institution | Kyoto University |
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Principal Investigator |
後藤 康仁 京都大学, 工学研究科, 准教授 (00225666)
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| Project Period (FY) |
2016-04-01 – 2018-03-31
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| Keywords | 拡大投影 / 電極間隔 / 倍率 / 空間分解能 |
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| Outline of Annual Research Achievements |
二枚の平面電極の片側に穴をあけた単孔静電レンズにおいて、電極間隔を極端に小さくすることで得られる位置情報の拡大投影手法について、拡大率、空間分解能の電極構造パラメータ依存性を計算機シミュレーションにより調べた。数値計算により得られた空間分解能の電極パラメータ等（電極間隔、試料温度、印加電圧）の依存性から、電極間隔の大きい領域での空間分解能を評価する式を導いた。またゲート電極側に絶縁体膜を設けることで、広い電極間隔において強電界を得るアイディアについては、荷電粒子軌道を支配する電極中央付近における効果が小さく、残念ながらわずかな改善効果しかないことが明らかとなった。しかし、このことは、ゲート電極側の電界の低減を図ったうえで、絶縁膜のない時と同等の特性が得られるということであり、実用上期待することができる。これらの結果の一部は平成29年度に国内学会およびドイツにおいて開催された国際会議で発表し、好評を博した。現在原著論文の作成準備を行っている。ピエゾ素子を用いた電極の位置及び間隔の精密制御装置については、当初位置制御ができることは確認したが、絶縁体で作製した一部の部品の強度的な問題があり、精密な制御を行うことが難しいことが明らかとなった。この部分の作り直しを行い改めて位置制御の検討を進めている。
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