2006 Fiscal Year Annual Research Report
極微細孔を有する高規則性アルミナナノホールアレーの形成と高機能化
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17205019
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| Research Institution | Kanagawa Academy of Science and Technology |
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Principal Investigator |
益田 秀樹 (財)神奈川科学技術アカデミー, 重点研究室光機能材料グループ, 研究員 (90190363)
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| Co-Investigator(Kenkyū-buntansha) |
柳下 崇 (財)神奈川科学技術アカデミー, 重点研究室光機能材料グループ, 研究員 (50392923)
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| Keywords | ナノ材料 / 自己組織化 / マイクロ・ナノデバイス / ナノ構造形成・制御 |
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| Research Abstract |
微細孔を有する高規則性アルミナナノホールアレーの作製と機能化に関し検討を行ない,以下の成果を得た.
1.細孔周期の微細化が期待される低化成電圧における細孔配列の規則化に関し引き続き検討を行なった.細孔配列イメージのフーリエ変換処理にもとづく規則性の定量化に関し検討を加え,定量化が可能なことを確認した.更に,得られた結果にもとついて規則化のための最適条件,並びに機構の考察を行った.
2.陽極酸化に先立ちAl表面にテクスチャリング処理を施すことで細孔発生位置の制御を行い,規則細孔配列を有する陽極酸化ポーラスアルミナを得る手法に関しては,テクスチャリングに用いるモールドパターンの微細化に関し検討を行なった.電子ビーム描画に基づいてモールドを作製する手法に関しては,従来使用していた電子ビームレジストを熱硬化性レジストに替えることで,周期30nm程度で再現性良くパターン形成が可能なプロセスを確立した.また,均一な超微粒子が形成する2次元規則配列を鋳型としてモールドを作製する手法に関しては,用いる超微粒子の微細化を進め,周期10nm程度の規則性陽極酸化ポーラスアルミナの作製が可能なことを確認した.
3.規則性ポーラスアルミナを鋳型とする転写プロセスに関しては,出発構造として用いるポーラスアルミナの構造の微細化を進め,細孔周期約30nm,細孔径15nm程度の微細な幾何学構造を有する陽極酸化ポーラスアルミナの微細構造を,Au,Ni等の金属で忠実に転写可能なことを確認した.
4.規則ポーラス構造の応用に関しては,精密ろ過膜離等への応用を中止に検討を行ない,分離用フィルターとして利用可能なことを確認した.
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