2005 Fiscal Year Annual Research Report
プラズマの異常加熱された電子を利用したSiOx薄膜作成とバリアフィルムへの応用
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17350106
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| Research Institution | Shizuoka University |
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Principal Investigator |
稲垣 訓宏 静岡大学, 工学部, 教授 (30022015)
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| Co-Investigator(Kenkyū-buntansha) |
神藤 正士 静岡大学, 工学部, 教授 (60023248)
成島 和男 静岡大学, 工学部, 助手 (40303531)
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| Keywords | 酸素ガスバリアー / 水蒸気ガスバリアー / ポリエチレンナフタレート / パルスプラズマ / SiOx / プラズマポリマー |
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| Research Abstract |
パルスプラズマの放電直後に発生する異常に加熱された電子を利用して、Si-O-Si構造のみから成るSiOxプラズマポリマーを合成し、酸素および水蒸気ガスバリアー性に優れた透明なフィルムの作成を目標にしている。テトラメトキシシランと酸素の混合ガスのプラズマ重合から、SiOxに富む透明な薄膜が合成できた。そのSiOxプラズマポリマーをガスバリアー性に優れてポリエチレンナフタレート(PEN)フィルム表面に堆積しガスバリアーポリマーフィルムを作成した。その酸素透過量は、PENの24.8から0.09-0.1cm^3/m^2-day-atmに約1/250まで大幅に低下し、開発目標としている10^<-3>cm^3/m^2-day-atmのオーダーに今一歩である。一方、水蒸気透過量は、0.2-0.5g/m^2-day-atmとなり、PENの水蒸気透過量3.25g/m^2-day-atmから改善が少ない。これは、PENフィルム上に堆積したSiOx薄膜内部にナノオーダーのミクロポアーが存在し、水蒸気分子はこのミクロポアー表面を表面拡散していると推定した。
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Research Products
(4 results)
