2006 Fiscal Year Annual Research Report
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17360071
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| Research Institution | Niigata University |
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Principal Investigator |
新田 勇 新潟大学, 自然科学系, 教授 (30159082)
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| Keywords | 機械要素 / 締結要素 / シュリンクフィッタ / 光学レンズ / 超精密接合 / スポット径 / 形状誤差 / スキャナー |
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| Research Abstract |
本研究の目的は,シュリンクフィッタ技術を核に高解像ながらも視野が格段に広い新しいタイプの顕微鏡を世界に先駆けて研究開発することである.そのためには,走査レンズ(fθレンズ)を,シュリンクフィッタという新しい機械要素を用いて構成することが必要不可欠となる.これまでの研究で,解像度が対物レンズ換算で約10倍であり,かつ視野が10mm幅のレーザイメージャーの開発に成功した.今回のレーザスポットの目標は、これまでの3・mから1・mへ結像面のレーザスポットを微細化することである.
昨年度,目標値となるレーザスポット径1・mを走査幅3mmにわたって走査できるレンズ群を設計した.その際に,fθ特性とテレセントリック性を同時に満足するように努めたが,現在のところテレセントリック性を満足することはできなかった.本年度は,アルミ鏡筒を外注して,寸法と真円度を測定した.昨年度製作したレンズをシュリンクフィッタ法により鏡筒に組み込んだ.走査用レンズを光学ベンチ上に搭載して,結像面上でのレーザの結像性能を調べた.使用した半導体レーザの波長は405nmである.光軸中心でのレーザの結像性能は設計値をほぼ満足することが確認できた.しかしながら,走査幅両端近くの結像性能は設計値を満足することはできなかった.このような結像特性になったことの原因を光学設計ソフトであるCodeVを使用して究明し,改善策を作成した.来年度はこの改善策に則りレンズ設計を見直し,新たなレンズを作製して,性能の改善を図る予定である.
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