2006 Fiscal Year Annual Research Report
時間相間イメージセンサの実用化開発と新しいパターン計測技術への応用研究
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17360189
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| Research Institution | The University of Tokyo |
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Principal Investigator |
安藤 繁 東京大学, 大学院情報理工学系研究科, 教授 (70134468)
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| Co-Investigator(Kenkyū-buntansha) |
篠田 裕之 東京大学, 大学院情報理工学系研究科, 助教授 (40226147)
奈良 高明 東京大学, 大学院情報学環・学際情報学府, 講師 (80353423)
小野 順貴 東京大学, 大学院情報理工学系研究科, 講師 (80334259)
来海 暁 大阪電気通信大学, 総合情報学部, 助教授 (30312987)
西 一樹 電気通信大学, 電気通信学部, 助教授 (00208125)
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| Keywords | 時間相関型イメージセンサ / CMOS / 画像センシング / 画像センシング / 光計測 |
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| Research Abstract |
正弦波変調撮像法によるオプティカルフロー検出の実現
従来の撮像装置により取得された画像はシャッター時間の積分により動きによりボケが生じてしまうという問題があある。参照信号として正弦波を用いた場合に時間相関イメージセンサによって得られる強度画像・複素正弦波変調画像の間に厳密に成り立つオプティカルフロー恒等式を導いた。この関係が時間を含まずに厳密に成立することから,これまでのオプティカルフロー検出法の欠点であった時間軸方向の差分を必要とせずに単一フレームのみでピクセルごとに対象の速度ベクトルを復元でき,フレーム間差分近似の精度に由来する対象速度の制限も取り除かれる.
動的な白色光干渉に基づく三次元形状・振動分布映像法の研究
MEMSのような微小物体の三次元形状や振動分布をnmの精度で計測するシステムを構築した。白色干渉計に鏡の微小振動を導入し、干渉画像を時間相関型イメージセンサで復調することにより、着目する深さでの複素反射率分布を実時間で可視化する。本システムでは実時間化の他、参照信号を任意の時間波形に設定できる時間相関イメージセンサの特色を活かし、等価的な逆フィルタを相関演算で実現することにより、深さ方向の解像力が格段に向上する。さらに、近年注目を浴びているMEMS分野で多大なニーズがある多層構造物の微小振動の振幅・位相分布を計測することに成功した。
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