2005 Fiscal Year Annual Research Report
光ナノセンシングデバイスの微小光学・機構の融合設計法の研究
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17560233
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Grant-in-Aid for Scientific Research (C)
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| Research Institution | Toyo University |
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Principal Investigator |
大久保 俊文 東洋大学, 工学部, 教授 (60349933)
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| Keywords | 近接場 / 光浮動ヘッド / 微小開口 / パターンド媒体 / 導波路 / FDTD法 / プラズモン |
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| Research Abstract |
本研究は、光の波長を下回る超微小開口を媒体表面に極近接走査することにより、超高密度・大容量かつ高速で情報記憶が可能な光メモリを実現しようとするものである。本研究を進めるに当たり、開口周辺の原理検証にとどまらず高記録密度を、高転送速度および高信号S/Nにおいて、一体構成可能なデバイス形態をもって実現することを基本的な考え方とする。交付全期間にわたる実証目標としては、ビット長が70-80nm長の微細パターンを、周波数帯域10MHz以上、信号S/N18dB以上の条件にて検出することに置く。
当該年度は、これまで蓄積した基盤研究の成果を受けて、超高密度の光信号実証に向けた「基盤技術インフラ」を徹底整備する。主なものには、1.100nmの線幅を下回る精密パターンド媒体の作製、2.浮上面から突出した開口の実効スペーシング、グライド高さの精密評価、3.サブミクロンから100nmを下回る有限幅の記録パターンを想定したトラッキング特性予測、4.光ヘッドアセンブリの小型化(1.6〜1.2mm角のナノからピコ光スライダ)構成のための要素技術、等が含まれる。
このうち1.の精密パターンド媒体に関しては、遮光膜厚を30nm弱として最小線幅70nmまでのパターンを作製し、80nmのシングルスペースまでは再生信号を確認できた。2.の開口実効スペーシングおよびグライドハイトに関しては、1.5mm有効長の小型光ヘッドアセンブリにより、30-35nmのグライドハイトを確認した。3.のトラッキング特性に関しては、直線状に形成した350nmパターン縁の横断波形を採取することにより、信号の重畳近似を用いて100nm幅までのトラッキング特性を予測した。4.の小型ヘッド化に関しては、有効スライダ長1.5mmのアセンブリを用い、1mm長のパターン領域走査時の再生信号エンベロープから安定な浮上状態を実現できていることを確認した。
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Research Products
(7 results)
