2006 Fiscal Year Annual Research Report
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17560636
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| Research Institution | Ehime University |
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Principal Investigator |
豊田 洋通 愛媛大学, 理工学研究科, 助教授 (00217572)
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| Co-Investigator(Kenkyū-buntansha) |
岡部 永年 愛媛大学, 理工学研究科, 教授 (20281181)
野村 信福 愛媛大学, 理工学研究科, 助教授 (20263957)
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| Keywords | プラズマ加工 / 触媒・化学プロセス / セラミックス |
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| Research Abstract |
平成18年度は以下の項日の研究を実施した.概要を示す.
1.ダイヤモンド合成条件の最適化(担当:豊田)
マイクロ波による液中プラズマ発生装置を用いて合成条件パラメーターを詳細に振って,ダイヤモンド合成実験を行った.具体的には,アルコール水溶液濃度,基板温度,電磁波パワー,電磁波周波数,基板電極間距離,を変化させてダイヤモンド結晶合成条件の最適化を行った.エタノール10vol%混合のメタノール溶液中で圧力60kPaの反応容器に封入し,シリコン基板を650℃に加熱してプラズマに接触させたところ,ダイヤモンド多結晶膜が0.1mm/hの垂直方向速度で成長した.本成果は,特許に申請された.
2.SiC合成条件の最適化(担当:岡部)
種々の溶液条件において,成膜と同時にプラズマ発光分析を行った.メタンガスが水とプラズマ中で水蒸気改質反応を起こして強力な還元作用をもつ水素ラジカルを発生させるメカニズムを明らかにした.合成されたSiC中に含まれる遊離炭素と酸素を除去するためには,水蒸気改質反応を液中プラズマ中で激しく起こすことが不可欠であることが判明した.
3.AlN合成可能性試験(担当:豊田,野村)
種々の可能性実験を行い,Al_2O_3の形成は見られたが,AlNの形成は,実現できなかった.その原因は,プラズマ源の溶液中に含まれる酸素であることが示唆された.H-VPE法によるAlN結晶合成法の化学反応を検討し,液中プラズマにおいて,その化学反応を再現できる方法を考察した.
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Research Products
(2 results)
