2007 Fiscal Year Annual Research Report
| Project/Area Number |
17560636
|
|---|
| Research Institution | Ehime University |
|---|
Principal Investigator |
豊田 洋通 Ehime University, 理工学研究科, 准教授 (00217572)
|
|---|
| Co-Investigator(Kenkyū-buntansha) |
野村 信福 愛媛大学, 理工学研究科, 教授 (20263957)
|
|---|
| Keywords | プラズマ加工 / 触媒・化学プロセス / セラミックス |
|---|
| Research Abstract |
1.ダイヤモンドの高速合成実験(担当:豊田)
合成速度に大きく影響を及ぼす、圧力とプラズマ消費電力の値を大きく上げることで、気相プラズマCVD法によるダイヤモンド合成速度をはるかにしのぐ速度を達成するための実験を行った。マイクロ波の効率的な導入を実現し、直径6mmの電極を用いて、800hPaのメタノール溶液中に300Wの2.45GHzマイクロ波を導入することによって、シリコンウエハー基板上の直径5mmの領域に10分間で33μm厚のダイヤモンド膜を合成することができた。合成速度は200μmで、これまでで最大である。液中プラズマによる不純物半導体ダイヤモンド形成のためのホウ素およびリンのドーピング試験に関する可能性試験は行われなかった。
2.合成SiCの純度向上と高速合成実験(担当:豊田)
平成18年度研究においては、メタンガスが水とプラズマ中で水蒸気改質反応を起こして強力な還元作用をもつ水素ラジカルを発生させるメカニズムを明らかにし、合成されたSiC中に含まれる遊離炭素と酸素を除去できることを示唆した。本年度は、水蒸気改質反応を確実に起こすことができる装置を製作し、液中プラズマによって高純度のSiC結晶の合成実験を行った、27.12MHzの工業化しやすい高周波を用いて、安定SiC膜を合成することが可能となった。TSF400シリコンオイルと、メタノールと、水を5:5:1の割合で混合した場合に、XPS分析結果から、理想に近いSiC元素比が得られることがわかった。
3.AlN合成可能性試験(担当:野村)
反応装置の再製作を行って、溶液中の酸素を取り除く。H-VPE法の化学反応を参考にし、プラズマ発生用電極先端部で、脱酸素プラズマが効率的に生じるように、電極形状も再設計製作し、プラズマの安定維持が可能となった、AlN合成実験および分析結果については、至らなかった。
|
Research Products
(1 results)
