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2020 Fiscal Year Annual Research Report

分子識別光ナノメカニカル素子の創出

Research Project

Project/Area Number 17H03198
Research InstitutionThe University of Tokyo

Principal Investigator

米谷 玲皇  東京大学, 大学院新領域創成科学研究科, 准教授 (90466780)

Project Period (FY) 2017-04-01 – 2021-03-31
KeywordsNEMS / スペクトロメーター / プラズモニクス / ナノメカニクス / センシング
Outline of Annual Research Achievements

本研究の目的は、微小量ガス分子の高感度検出,識別に向け、様々な微小物理量を検出可能な“ナノメカニカル素子”と光制御性に優れた“フォトニックナノ構造”を融合させ、光スペクトル計測を実現する光ナノメカニカル素子に関わる知見,技術を獲得し、これを実現することである。
今年度は、昨年度獲得した光スペクトル計測を達成可能なスパイラルブルズアイ構造と薄膜振動子で構成される光ナノメカニカル素子のさらなる高分解能化にむけ、この高分解能化の鍵となるフォトニックナノ構造の吸光特性の向上を検証した。具体的には、光吸収制御のためのスパイラルブルズアイ構造の高分解能化を解析的アプローチにより検証した。スパイラルブルズアイ構造は、Auからなる構造体であると想定した。結果として、吸収スペクトルのプロファイルと構造体の寸法,形状との関係性に関わる知見を深化させるとともに、高分解能化のための新たなデバイスとしてスパイラル状のブラッグリフレクタを提案し、スパイラルブルズアイ構造の周りにAuからなるスパイラルブラッグリフレクタ構造を配置することにより、およそ1.6倍の高分解能化が達成されることを見出した。この提案したスパイラルブラッグリフレクタ構造は、本研究で獲得の光スペクトル計測のための光ナノメカニカル素子をさらに進化させるものと期待する。ヘルスケアやメンタルケア,環境計測分野などにおいて微小量ガス分子のより高感度な計測技術の創発が望まれる中、本研究で獲得した光スペクトル計測のために光ナノメカニカル素子は、ガス分子計測,分析技術等の高度化を促すものと考える。

Research Progress Status

令和2年度が最終年度であるため、記入しない。

Strategy for Future Research Activity

令和2年度が最終年度であるため、記入しない。

  • Research Products

    (15 results)

All 2022 2021 2020 Other

All Journal Article (3 results) (of which Peer Reviewed: 3 results) Presentation (11 results) (of which Int'l Joint Research: 4 results,  Invited: 4 results) Remarks (1 results)

  • [Journal Article] Highly sensitive vibration measurement method of nanomechanical resonator using convolutional neural network2022

    • Author(s)
      Kohei Tsumune, Shin'ichi Warisawa, Reo Kometani
    • Journal Title

      Japanese Journal of Applied Physics

      Volume: - Pages: -

    • Peer Reviewed
  • [Journal Article] Miniaturization process of three-dimensional nanostructures fabricated by focused-ion-beam chemical vapor deposition2021

    • Author(s)
      Reo Kometani, Moe Katsuda
    • Journal Title

      Japanese Journal of Applied Physics

      Volume: 60 Pages: 128002-1-4

    • DOI

      10.35848/1347-4065/ac3525

    • Peer Reviewed
  • [Journal Article] 走査電子顕微鏡を利用したNEMSのオペランド動特性計測2021

    • Author(s)
      米谷 玲皇, 割澤 伸一
    • Journal Title

      計測と制御

      Volume: 60 Pages: 213-216

    • DOI

      10.11499/sicejl.60.213

    • Peer Reviewed
  • [Presentation] Optical force measurement by a nanomechanical resonator electrostatically coupled to a cantilever2021

    • Author(s)
      Reo Kometani
    • Organizer
      The 2021 International Chemical Congress of Pacific Basin Societies
    • Int'l Joint Research
  • [Presentation] Fabrication of an optomechanical resonator with a spiral bull's eye antenna for the measurement of light wavelength2021

    • Author(s)
      Reo Kometani, Penekwong Khemnat, Shin’ichi Warisawa
    • Organizer
      34rd International Microprocesses and Nanotechnology Conference
    • Int'l Joint Research
  • [Presentation] Highly Sensitive Vibration Measurement Method of Nanomechanical Resonator Using Convolutional Neural Network2021

    • Author(s)
      Kohei Tsumune, Shin’ichi Warisawa, Reo Kometani
    • Organizer
      34rd International Microprocesses and Nanotechnology Conference
    • Int'l Joint Research
  • [Presentation] 畳み込みニューラルネットワークを利用したナノメカニカル振動子の高感度振動計測2021

    • Author(s)
      津旨 航平, 割澤 伸一, 米谷 玲皇
    • Organizer
      第13回集積化 MEMS シンポジウム
  • [Presentation] 狭細な透過光スペクトルを有するブルズアイ構造実現のためのスパイラルブラッグリフレクタ2021

    • Author(s)
      大岩 達典, 割澤 伸一, 米谷 玲皇
    • Organizer
      第13回集積化 MEMS シンポジウム
  • [Presentation] 荷電粒子ビーム技術とナノメカニクス2021

    • Author(s)
      米谷 玲皇
    • Organizer
      高分子学会 印刷・情報・電子用材料研究会
    • Invited
  • [Presentation] 荷電粒子ビーム技術とNEMSセンシング2021

    • Author(s)
      米谷 玲皇
    • Organizer
      電気学会北陸支部学術講演会
    • Invited
  • [Presentation] ナノメカニクスとNEMSセンシング2021

    • Author(s)
      米谷 玲皇
    • Organizer
      科学技術交流財団 新産業創出に向けたマイクロセンサデバイス研究会
    • Invited
  • [Presentation] Vibration Spectrum Measurement and Phase-Resolved Image Observation of Nanomechanical Resonators by Helium Ion Microscopy2020

    • Author(s)
      Masaki Saito, Shinichi Ogawa, Yukinori Morita, Shin’ichi Warisawa, Reo Kometani
    • Organizer
      33rd International Microprocesses and Nanotechnology Conference
    • Int'l Joint Research
  • [Presentation] Evaluation method of vibration spectra of nanomechanical resonators using Helium Ion Microscope2020

    • Author(s)
      Masaki Saito, Shinichi Ogawa, Yukinori Morita, Shin’ichi Warisawa, Reo Kometani
    • Organizer
      The 81st JSAP Autumn Meeting 2020
  • [Presentation] ナノメカニクスと光センシング2020

    • Author(s)
      米谷 玲皇
    • Organizer
      分子研研究会「ナノ空間で光が織りなす分子操作・化学反応制御の新展開」
    • Invited
  • [Remarks] 研究室ホームページ

    • URL

      http://www.lhei.k.u-tokyo.ac.jp/#top

URL: 

Published: 2022-12-28  

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