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2019 Fiscal Year Annual Research Report

ラマン分光オペランド測定による極微細熱電発電Siナノワイヤデバイスの熱伝導率評価

Research Project

Project/Area Number 17J08240
Research InstitutionMeiji University

Principal Investigator

横川 凌  明治大学, 理工学研究科, 特別研究員(DC1)

Project Period (FY) 2017-04-26 – 2020-03-31
Keywordsラマン分光法 / Siナノワイヤ / 熱電発電デバイス
Outline of Annual Research Achievements

今年度は極微細熱電発電Siナノワイヤデバイスにおける極微小領域の温度分布評価実現のため、ラマン分光オペランド測定に取り組み、測定条件およびデバイスデザイン最適化を試みた。試料に局所的な温度勾配を形成することを目的として作製した温調プローバを顕微ラマン分光器に搭載することで、ラマン測定で得られる格子振動(フォノン)のエネルギー情報を元に、熱電発電Siナノワイヤデバイスの温度測定が可能かを検討した。また、Siナノワイヤに対する入射光の侵入長を抑えるため、UV励起光源を選択した。
ラマン分光オペランド測定を実施した結果、温調プローバの温度上昇に伴い、熱電発電Siナノワイヤデバイス内のSiナノワイヤに関するラマンシフト(光学フォノンモード)が徐々に低波数側へシフトすることが確認された。また、過去の文献で報告されているSiのラマンシフトと温度の関係式を用いて、Siナノワイヤの温度を算出した結果、温調プローバから誘起される熱が適切にSiナノワイヤ部分へ伝わっていることが明らかになった。更にSiナノワイヤの場所依存性も評価し、温調プローバから離れている箇所では熱伝導が遅延することを示した。
しかしながら、ある一定時間を過ぎると、試料全体が温まり局所的な温度勾配ができていないことも同時に明らかになった。この点に関しては、冷却試料ステージを導入することで改善できると考えている。本研究課題で得られた知見を元に、今後更なるラマン分光オペランド測定の高精度化が期待される。

Research Progress Status

令和元年度が最終年度であるため、記入しない。

Strategy for Future Research Activity

令和元年度が最終年度であるため、記入しない。

  • Research Products

    (38 results)

All 2020 2019

All Journal Article (3 results) (of which Peer Reviewed: 3 results) Presentation (35 results) (of which Int'l Joint Research: 12 results,  Invited: 1 results)

  • [Journal Article] Anisotropic biaxial stress evaluation in metal-organic chemical vapor deposition grown Ge1-Sn mesa structure by oil-immersion Raman spectroscopy2020

    • Author(s)
      Kazutoshi Yoshioka, Ryo Yokogawa, Atsushi Ogura
    • Journal Title

      Thin Solid Films

      Volume: 697 Pages: 137797~137797

    • DOI

      10.1016/j.tsf.2020.137797

    • Peer Reviewed
  • [Journal Article] Anisotropic Biaxial Strain Evaluation in Carbon-Doped Silicon Using Water-Immersion Raman Spectroscopy2019

    • Author(s)
      Kazutoshi Yoshioka, Ryo Yokogawa, Naomi Sawamoto, Atsushi Ogura
    • Journal Title

      ECS Transactions

      Volume: 92 Pages: 33~39

    • DOI

      10.1149/09204.0033ecst

    • Peer Reviewed
  • [Journal Article] Evaluation of thermal conductivity characteristics in Si nanowire covered with oxide by UV Raman spectroscopy2019

    • Author(s)
      Ryo Yokogawa, Motohiro Tomita, Takanobu Watanabe, Atsushi Ogura
    • Journal Title

      Japanese Journal of Applied Physics

      Volume: 58 Pages: SDDF04~SDDF04

    • DOI

      10.7567/1347-4065/ab0889

    • Peer Reviewed
  • [Presentation] 液浸ラマン分光法を用いたMoS2のキャリア濃度評価2020

    • Author(s)
      小柳有矢, 日比野祐介, 横川凌, 若林整, 小椋厚志
    • Organizer
      第67回応用物理学会春季学術講演会
  • [Presentation] X線非弾性散乱法によるBulk SiGe単結晶フォノン分散曲線の測定2020

    • Author(s)
      横川凌, 竹内悠希, 荒井康智, 米永一郎, 内山裕士, 小椋厚志
    • Organizer
      第67回応用物理学会春季学術講演会
  • [Presentation] ラマン分光法による多結晶シリコン粒内のナノ結晶構造が及ぼす熱伝導特性評価(Ⅱ)2020

    • Author(s)
      竹内悠希, 横川凌, 高橋和也, 小森克彦, 森本保, 澤本直美, 小椋厚志
    • Organizer
      第67回応用物理学会春季学術講演会
  • [Presentation] 単結晶Si太陽電池の薄型化へ向けたスライスダメージ評価2020

    • Author(s)
      原豊, 横川凌, 大西康平, 神岡武文, 中村京太郎, 大下祥雄, 河津知之, 長井俊樹, 山田昇, 宮下幸雄, 小椋厚志
    • Organizer
      第67回応用物理学会春季学術講演会
  • [Presentation] Si基板へのイオン注入とレーザーアニールで作製したSi1-x-yGexSny薄膜の歪評価2020

    • Author(s)
      小笠原凱, 小孫翔大, 横川凌, 吉岡和俊, 澤本直美, Borland John, 黒井隆, 川崎洋司, 小椋厚志
    • Organizer
      第67回応用物理学会春季学術講演会
  • [Presentation] UVラマン分光法による単結晶Si1-xSnxの歪換算係数導出2020

    • Author(s)
      横川凌, 丹下龍志, 黒澤昌志, 小椋厚志
    • Organizer
      第67回応用物理学会春季学術講演会
  • [Presentation] 低Ge濃度SiGe薄膜におけるEXAFS振動の温度とGe濃度依存性の評価2020

    • Author(s)
      吉岡和俊, 横川凌, 高橋祐樹, 小原田賢聖, 竹内悠希, 小笠原凱, 広沢一郎, 渡辺剛, 小椋厚志
    • Organizer
      第67回応用物理学会春季学術講演会
  • [Presentation] 逆格子空間マッピングによるGe1-XSnXメサ構造における原子間隔分布の検討2020

    • Author(s)
      広沢一郎, 高橋祐樹, 吉岡和俊, 横川凌, 須田耕平, 小椋厚志
    • Organizer
      第67回応用物理学会春季学術講演会
  • [Presentation] 逆格子空間マッピングを用いたGe1-xSnxメサ構造における熱膨張係数評価2020

    • Author(s)
      高橋祐樹, 横川凌, 吉岡和俊, 小笠原凱, 廣沢一郎, 須田耕平, 小椋厚志
    • Organizer
      第67回応用物理学会春季学術講演会
  • [Presentation] Origin of Anomalous Phonon State in SiGe Alloys Studied with Molecular Dynamics2020

    • Author(s)
      Sylvia Yuk Yee Chung, Motohiro Tomita, Ryo Yokogawa, Atsushi Ogura, Takanobu Watanabe
    • Organizer
      電子デバイス界面テクノロジー研究会 ―材料・プロセス・デバイス特性の物理―(第25回研究会)
  • [Presentation] 薄型フレキシブルSi太陽電池へ向けたスライスダメージ評価2019

    • Author(s)
      大西康平, 横川凌, 西原達平, 神岡武文, 中村京太郎, 大下祥雄, 河津知之, 長井俊樹, 山田昇, 宮下幸雄, 小椋厚志
    • Organizer
      第80回応用物理学会秋季学術講演会
  • [Presentation] X線非弾性散乱法で観測される低エネルギー側Bulk SiGeフォノンスペクトルの考察2019

    • Author(s)
      横川凌, 竹内悠希, 吉岡和俊, 荒井康智, 内山裕士, 富田基裕, 小椋厚志
    • Organizer
      第80回応用物理学会秋季学術講演会
  • [Presentation] X線非弾性散乱法によるBulk Si1-xGex(x=0.72)単結晶のフォノン分散測定2019

    • Author(s)
      横川凌, 小柳有矢, 内山裕士, 筒井智嗣, 米永一郎, 小椋厚志
    • Organizer
      第80回応用物理学会秋季学術講演会
  • [Presentation] XAFS測定を用いた低温下におけるSi基板上SiGe薄膜の局所構造評価2019

    • Author(s)
      吉岡和俊, 横川凌, 高橋祐樹, 竹内悠希, 広沢一郎, 渡辺剛, 小椋厚志
    • Organizer
      第80回応用物理学会秋季学術講演会
  • [Presentation] 高濃度SiGeラマンスペクトルの局在振動モードを利用したGe濃度定量2019

    • Author(s)
      横川凌, 竹内悠希, 吉岡和俊, 小椋厚志
    • Organizer
      第80回応用物理学会秋季学術講演会
  • [Presentation] レーザーアニール又はRTAを施したSnドープSiGe膜の歪評価2019

    • Author(s)
      小孫翔大, 横川凌, 吉岡和俊, 澤本直美, ボーランドジョン, 黒井隆, 川崎洋司, 小椋厚志
    • Organizer
      第80回応用物理学会秋季学術講演会
  • [Presentation] ラマン分光法を用いたWigglingシリコン窒化膜パターンによる応力評価2019

    • Author(s)
      小原田賢聖, 横川凌, 澤本直美, 吉岡和俊, 小椋厚志
    • Organizer
      第80回応用物理学会秋季学術講演会
  • [Presentation] ラマン分光法による酸化膜被覆プロセスの異なるSOI薄膜における熱伝導特性評価2019

    • Author(s)
      竹内悠希, 横川凌, 富田基裕, 渡邉孝信, 小椋厚志
    • Organizer
      第80回応用物理学会秋季学術講演会
  • [Presentation] 実験室系硬X線光電子分光法による埋もれた界面の化学結合状態評価2019

    • Author(s)
      西原達平, 金井皓輝, 横川凌, 廣沢一郎, 安野聡, 大川登志郎, 小椋厚志
    • Organizer
      第80回応用物理学会秋季学術講演会
  • [Presentation] 逆格子マッピングを用いたGe1-xSn微細構造における歪評価2019

    • Author(s)
      高橋祐樹, 横川凌, 小椋厚志
    • Organizer
      第16回SPring-8産業利用報告会
  • [Presentation] X線非弾性散乱法による単結晶SiGeのフォノン分散評価2019

    • Author(s)
      横川凌, 竹内悠希, 吉岡和俊, 荒井康智, 内山裕士, 小椋厚志
    • Organizer
      第3回フォノンエンジニアリング研究会
  • [Presentation] 多結晶シリコン粒内のフォノン散乱要因評価2019

    • Author(s)
      竹内悠希, 横川凌, 高橋和也, 小森克彦, 森本保, 澤本直美, 小椋厚志
    • Organizer
      第3回フォノンエンジニアリング研究会
  • [Presentation] 放射光を用いたIV族半導体の物性評価2019

    • Author(s)
      横川凌, 小椋厚志
    • Organizer
      第150回結晶工学分科会研究会 これからはじめる放射光 ~微細評価の新展開~
    • Invited
  • [Presentation] Evaluation of Temperature and Ge Concentration Dependence of EXAFS Oscillations in SiGe Thin Films2019

    • Author(s)
      Kazutoshi Yoshioka, Ryo Yokogawa, Yuki Takahashi, Haruki Takeuchi, Takanobu Watanabe, Atsushi Ogura
    • Organizer
      Materials Research Meeting 2019 (MRM2019)
    • Int'l Joint Research
  • [Presentation] Investigation of Phonon Dispersion Curve for Silicon Germanium Alloy by Using Inelastic X-ray Scattering2019

    • Author(s)
      Ryo Yokogawa, Haruki Takeuchi, Kazutoshi Yoshioka, Yasutomo Arai, Hiroshi Uchiyama, Atsushi Ogura
    • Organizer
      Materials Research Meeting 2019 (MRM2019)
    • Int'l Joint Research
  • [Presentation] Strain Evaluation of Laser-annealed or RTA Sn-doped SiGe Layers2019

    • Author(s)
      Shota Komago, Ryo Yokogawa, Kazutoshi Yoshioka, Naomi Sawamoto, John O. Borland, Takashi Kuroi, Yoji Kawasaki, Atsushi Ogura
    • Organizer
      8th International Symposium on Control of Semiconductor Interfaces
    • Int'l Joint Research
  • [Presentation] Characterization of Bendable Crystalline Si Solar Cells Made by Ultra-thin Wafer Slicing2019

    • Author(s)
      Noboru Yamada, Kohei Onishi, Ryo Yokogawa, Tappei Nishihara, Takefumi Kamioka, Kyotaro Nakamura, Tomoyuki Kawatsu, Toshiki Nagai, Yuya Kotake, Yukio Miyashita, Yoshio Ohshita, Atsushi Ogura
    • Organizer
      29th International Photovoltaic Science and Engineering Conference (PVSEC-29)
    • Int'l Joint Research
  • [Presentation] Stress Evaluation Induced by Wiggling SiN Fine Pattern by Using Raman Spectroscopy2019

    • Author(s)
      Masato Koharada, Ryo Yokogawa, Naomi Sawamoto, Kazutoshi Yoshioka, Atsushi Ogura
    • Organizer
      32nd International Microprocess and Nanotechnology Conference (MNC 2019)
    • Int'l Joint Research
  • [Presentation] Determination of Phonon Deformation Potentials in Carbon-doped Silicon2019

    • Author(s)
      Kazutoshi Yoshioka, Ryo Yokogawa, Tatsumi Murakami, Shota Komago, Naomi Samamoto, Atsushi Ogura
    • Organizer
      236th Electrical Chemical Society (ECS) Meeting
    • Int'l Joint Research
  • [Presentation] Evaluation of Thermal Conductivity Characteristics in Polycrystalline Silicon Grains with Nanostructures by Raman Spectroscopy2019

    • Author(s)
      Haruki Takeuchi, Ryo Yokogawa, Kazuya Takahashi, Katsuhiko Komori, Tamotsu Morimoto, Naomi Sawamoto, Atsushi Ogura
    • Organizer
      236th Electrical Chemical Society (ECS) Meeting
    • Int'l Joint Research
  • [Presentation] Temperature Measurement for Si Nanowire Thermoelectric Generators by Operand Raman Spectroscopy2019

    • Author(s)
      Ryo Yokogawa, Tianzhuo Zhan, Motohiro Tomita, Takanobu Watanabe, Atsushi Ogura
    • Organizer
      236th Electrical Chemical Society (ECS) Meeting
    • Int'l Joint Research
  • [Presentation] Evaluation of Anisotropic Stress for Laterally Graded Silicon Germanium Wires by Raman Spectroscopy2019

    • Author(s)
      Ryo Yokogawa, Kouta Takahashi, Masashi Kurosawa, Motohiro Tomita, Takanobu Watanabe, Atsushi Ogura
    • Organizer
      18th Conference on Defects-Recognition, Imaging and Physics in Semiconductors (DRIP XVIII)
    • Int'l Joint Research
  • [Presentation] Evaluation of Strain Relaxation in Stripe-Shaped Ge1-xSnx Mesa Structure Using X-ray Diffraction Reciprocal Space Mapping2019

    • Author(s)
      Yuki Takahashi, Ryo Yokogawa, Kohei Suda, Atsushi Ogura, Ichiro Hirosawa
    • Organizer
      18th Conference on Defects-Recognition, Imaging and Physics in Semiconductors (DRIP XVIII)
    • Int'l Joint Research
  • [Presentation] Sawing Damage Control for Thin Flexible Si Solar Cells2019

    • Author(s)
      Kohei Onishi, Ryo Yokogawa, Tappei Nishihara, Takefumi Kamioka, Kyotaro Nakamura, Yoshio Oshita, Tomoyuki Kawatsu, Toshiki Nagai, Noboru Yamada, Yukio Miyashita, Atsushi Ogura
    • Organizer
      36th European Photovoltaic Solar Energy Conference and Exhibition (EU PVSEC 2019)
    • Int'l Joint Research
  • [Presentation] Ultra-Thin Lightweight Bendable Crystalline Si Solar Cells for Solar Vehicles2019

    • Author(s)
      Yoshio Ohshita, Kohei Onishi, Ryo Yokogawa, Tappei Nishihara, Takefumi Kamioka, Kyotaro Nakamura, Tomoyuki Kawatsu, Toshiki Nagai, Noboru Yamada, Yukio Miyashita, Atsushi Ogura
    • Organizer
      46th IEEE Photovoltaic Specialists Conference (PVSC 46)
    • Int'l Joint Research

URL: 

Published: 2021-01-27  

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