2006 Fiscal Year Annual Research Report
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18360140
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| Research Institution | Chiba Institute of Technology |
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Principal Investigator |
伊藤 晴雄 千葉工業大学, 工学部, 教授 (90083849)
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| Co-Investigator(Kenkyū-buntansha) |
鈴木 進 千葉工業大学, 工学部, 助教授 (00265472)
寺西 研二 一関工業高等専門学校, 電気情報工学科, 助手 (80435403)
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| Keywords | 圧電トランス / プラズマリアクタ / 誘電体バリア放電 / 電子放出 / 自己組織化 |
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| Research Abstract |
Pb(Zr・Ti)O_3製圧電トランス(PT)は小型軽量の高電圧発生素子であるが、著者らは、このPTが単に高電圧発生器としてだけではなく、それ自身が誘電体電極として動作する誘電体バリア放電(DBD)型プラズマリアクタとして機能することを見出した。この特徴は、何よりもコンパクトに構成されたプラズマリアクタを実現できることにある。この目的で2つの開発研究を行った。
1つ目は、オゾン発生器への応用であり、今年度は2枚のPTを並列運転する方法を採用し、PTの両面に配置する誘電休電極材料をAl_2O_3、ソーダガラス、他3種類についてオゾン生成特性を調べた。これらの材料によりオゾン生成特性は大きく変わる結果を得たので、それらの物性値との関係について引き続き検討している。
もう一つは、エキシマランプによりVUV光源への応用である。XeとAr中でエキシマを生成し、これらから172nmと126nmのVUV光が放射されていることをVUV分光測定により確認した。同時に、Xeからは147nmの共鳴光も放射されていることも分かり、放電、並びに発光特性について検討した。注入電力は約1W、放電変換効率は約40%であった。
以上の研究から得られた成果は、第10回HAKONE会議(2006年8月、佐賀)、第13回アジア放電会議(2006年9月、札幌)、GEC2006(10月、アメリカ、コロンバス)等の国際会議で速報として報告した。また、放電学会春季シンポジウム(6月、東京)では、招待講演を行った。更に予てより投稿中であった論文がJournal of Plasma and Fusion Research Series誌、Plasma Source, Science and Technology誌、Journal of Light and Visual Environment誌、Japanese Journal of Applied Physics誌からそれぞれ出版された。
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