2008 Fiscal Year Self-evaluation Report
A STUDY ON ENERGY LEVEL CHARACTERIZATION DEVICES FOR BIOLOGICAL MATERIALS BY ELECTRON RESPONSE OF METAL/MICRO-GAP/SEMICONDUCTOR STRUCTURES
| Project/Area Number |
18360148
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| Research Category |
Grant-in-Aid for Scientific Research (B)
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| Allocation Type | Single-year Grants |
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| Section | 一般 |
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| Research Field |
Electronic materials/Electric materials
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| Research Institution | Osaka University |
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Principal Investigator |
MORITA Mizuho Osaka University, 大学院・工学研究科, 教授 (50157905)
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| Project Period (FY) |
2006 – 2009
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| Keywords | シリコン / シリコン酸化膜 / 微小空隙 / 電子応答 / センシングデバイス |
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| Research Abstract |
本研究の目的は、金属/微小空隙/半導体構造の交流電子応答を測定することにより、空隙中の生体のエネルギ-準位などの物性を分析する方法を開拓することである。具体的には、次のことを明らかにする。(1) 空隙中の生体を、交流容量c-電圧(V)特性、コンダクタンス(G)-電圧(V)特性として検出できることを実証する。(2) 生体溶液と水素終端シリコン表面、化学酸化膜表面、極薄熱酸化膜表面との反応を明らかにし、高感度、高安定センシング表面を開発する。(3) 生体に適した空隙長などのデバイス構造を明らかにして、ナノメ-トルスケ-ルの生体の高感度分析が可能であることを実証する。
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