2006 Fiscal Year Annual Research Report
円筒面フォトリソグラフィーを用いた光ファイバー電磁振動型細径高精細内視鏡の開発
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18650141
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| Research Institution | Tohoku University |
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Principal Investigator |
芳賀 洋一 東北大学, 先進医工学研究機構, 助教授 (00282096)
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| Co-Investigator(Kenkyū-buntansha) |
松永 忠雄 東北大学, 先進医工学研究機構, 助手 (00396540)
牧志 渉 東北大学, 先進医工学研究機構, 助手 (60400454)
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| Keywords | 内視鏡 / 光ファイバー / 電磁駆動 / マイクロコイル / 円筒面 / フォトリソグラフィー / マイクロレンズ / マスクレス露光 |
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| Research Abstract |
細く小さなデバイスでも比較的大きな角度で2次元のファイバー振動振幅を得るために、外径が小さいままコイルターン数を大きくでき大きな電磁力を得られる多層のコイルデザインを考案した。被覆銅線を手巻きしたマクロモデルを用い、中心に置いた円柱形状の永久磁石を用いて前述のデザインによる動作を確認した。さらに、円筒面へのレジストディップコートおよびマスクレスフォトリソグラフィを利用し、上記デザインのためのチルテッドコイルを試作した。また多層化についてプロセスの改良を行った。より厚いコイル電極パターンを得られるようにフォトリソグラフィー行程の最適化およびマスクレス露光装置の改良も行った。一方、ディップコートを用いたレジスト成膜では膜厚ばらつきが数十μm以上あることからスプレーコーティング法により均一な成膜を試みた。具体的にはレジストを超音波振動にて小さな粒子にして非平面に均一に成膜する。1回で厚く成膜しようとすると表面張力表面張力の影響で集まりムラを作り、さらに重力の影響により集まり周方向の膜厚を不均一にすることから成膜を数回に分け加熱スケジュールを挟み込むことで平坦性向上を行った。内視鏡の光学系として、振動する光ファイバの前に大きなレンズを置くよりも光ファイバ端面に出射光をコリメートする構成が望ましい。これを実現するため、フォトリソグラフィーとエッチングにてマイクロレンズを作製する準備を進めた。
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