• Search Research Projects
  • Search Researchers
  • How to Use
  1. Back to project page

2007 Fiscal Year Annual Research Report

ナノスケールで構造制御した多元素複合クラスタービーム形成技術の研究

Research Project

Project/Area Number 18681014
Research InstitutionKyoto University

Principal Investigator

瀬木 利夫  Kyoto University, 工学研究科, 講師 (00402975)

Keywordsクラスター / ナノ構造材料 / アルゴン / ノズル / 金属材料被覆
Research Abstract

ナノ構造を持つ多元素複合クラスターの生成方法を開発し、それを用いたナノ構造材料創成技術を開発することを目的として、ナノ構造多元素複合クラスター蒸着装置の開発、反応性クラスター生成技術の開発、及び多元素複合クラスターに関する情報収集を中心に研究を行った。H19年度は、前年度に構築したガスクラスターを出発点として金属や有機物など異種の材料を周囲に被覆するための装置により生成される層状クラスターに、さらに異種の材料を周囲に被覆し、イオン化・加速するためのナノ構造クラスタービーム装置を開発した。これを用いて、ガスクラスターへの金属材料の被覆を試験し、ガスと金属の異種材料多層構造クラスターが生成できるかを検証した。生成した多層構造クラスターは、イオン化・加速を行い、飛行時間型質量分析装置などを用いてそのサイズを測定し、金属被覆セル内の蒸気圧との関係を評価した。出発点となるガスクラスターについては、前年に引き続きノズル形状や生成条件の探査を行い、層状クラスター形成に最適なサイズのガスクラスター生成を行うとともに、塩素ガスクラスターなどの反応性クラスター生成条件探査も行い、多層構造クラスター形成に最適なガス種のクラスター生成の検討も行った。また、国内外の学会等において、クラスターの生成や輸送、及び応用に関する研究発表を行い、国内外研究者と意見交換するとともに、多元素複合クラスター形成とその応用に関する情報収集を行った。

  • Research Products

    (12 results)

All 2008 2007 Other

All Journal Article (6 results) (of which Peer Reviewed: 6 results) Presentation (5 results) Remarks (1 results)

  • [Journal Article] High-speed processing with high-energy SF6 cluster ion beam2007

    • Author(s)
      Toshio Seki
    • Journal Title

      Nuclear Instruments and Methods in Physics Research B 257

      Pages: 666-669

    • Peer Reviewed
  • [Journal Article] Surface processing with high-energy gas cluster ion beams2007

    • Author(s)
      Toshio Seki
    • Journal Title

      Surface and Coatings Technology 201

      Pages: 8646-8649

    • Peer Reviewed
  • [Journal Article] Energy distribution of high-energy cluster ion beams2007

    • Author(s)
      Toshio Seki
    • Journal Title

      Nuclear Instruments and Methods in Physics Research B 261

      Pages: 647-650

    • Peer Reviewed
  • [Journal Article] Size effect in cluster collision on solid surfaces2007

    • Author(s)
      Jiro Matsuo
    • Journal Title

      Nuclear Instruments and Methods in Physics Research B 257

      Pages: 627-631

    • Peer Reviewed
  • [Journal Article] Molecular dynamics study of monomer and dimer emission processes with high energy gas cluster ion impact2007

    • Author(s)
      Takaaki Aoki
    • Journal Title

      Surface and Coatings Technology 201

      Pages: 8427-8430

    • Peer Reviewed
  • [Journal Article] The Effect of Incident Cluster Ion Size on Secondary Ion Yields Produced from Si2007

    • Author(s)
      Satoshi Ninomiya
    • Journal Title

      Transactions of the MRS-J 32[4]

      Pages: 895-898

    • Peer Reviewed
  • [Presentation] 塩素ガスクラスターイオンビームによる金属材料エッチング特性2008

    • Author(s)
      瀬木利夫、青木学聡、松尾二郎
    • Organizer
      2008年春季第55回応用物理学関係連合講演会
    • Place of Presentation
      日本大学 船橋キャンパス
    • Year and Date
      2008-03-29
  • [Presentation] Nano-processing with gas cluster ion beams2007

    • Author(s)
      Toshio Seki
    • Organizer
      15th International Conference on Surface Modification of Materials by Ion Beams
    • Place of Presentation
      Mumbai, India
    • Year and Date
      20070930-1005
  • [Presentation] 塩素ガスクラスターイオンビームの生成2007

    • Author(s)
      瀬木利夫, 青木学聡, 松尾二郎
    • Organizer
      第68回応用物理学会学術講演会
    • Place of Presentation
      北海道工業大学
    • Year and Date
      20070904-08
  • [Presentation] High-Speed Nano-Processing with Cluster Ion Beams2007

    • Author(s)
      T. Seki, T. Aoki, J. Matsuo
    • Organizer
      MRS-J 2007 Symposium
    • Place of Presentation
      Tokyo, Japan
    • Year and Date
      2007-12-09
  • [Presentation] High-Speed Nano-Processing with Reactive Cluster Ion Beam2007

    • Author(s)
      T. Seki, T. Aoki and J. Matsuo
    • Organizer
      8th Workshop on Cluster Ion Beam Technology
    • Place of Presentation
      Tokyo, Japan
    • Year and Date
      2007-11-09
  • [Remarks]

    • URL

      http://sakura.nucleng.kyoto-u.ac.jp/

URL: 

Published: 2010-02-04   Modified: 2016-04-21  

Information User Guide FAQ News Terms of Use Attribution of KAKENHI

Powered by NII kakenhi