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2008 Fiscal Year Final Research Report

Generation of nano-scale structure controlled composite cluster beam

Research Project

  • PDF
Project/Area Number 18681014
Research Category

Grant-in-Aid for Young Scientists (A)

Allocation TypeSingle-year Grants
Research Field Nanostructural science
Research InstitutionKyoto University

Principal Investigator

SEKI Toshio  Kyoto University, 工学研究科, 講師 (00402975)

Project Period (FY) 2006 – 2008
Keywordsクラスター / 微粒子 / 量子ビーム科学
Research Abstract

ナノ構造を持つ多元素複合クラスターの生成方法を開発し、それを用いたナノ構造材料創成技術を開発することを目的として、ガスクラスターを出発点として金属や有機物など異種の材料を周囲に被覆し、イオン化・加速するナノ構造多元素複合クラスター蒸着装置の開発を行った。Arガスクラスターに金属Inを被覆する試験を行った結果、ArとInの複合クラスターが生成され、このガス-金属複合クラスターをSi基板上に蒸着することで、ナノサイズの金属ドット形成が可能であることを示した。

  • Research Products

    (16 results)

All 2009 2008 2007 2006

All Journal Article (5 results) (of which Peer Reviewed: 5 results) Presentation (10 results) Book (1 results)

  • [Journal Article] High-Speed Nano-Processing with Cluster Ion Beams2008

    • Author(s)
      T. Seki, T. Aoki and J. Matsuo
    • Journal Title

      Transactions of the MRS-J 33 [4]

      Pages: 1019-1022

    • Peer Reviewed
  • [Journal Article] Energy distribution of high-energy cluster ion beams2007

    • Author(s)
      T. Seki, J. Matsuo
    • Journal Title

      Nuclear Instruments and Methods in Physics Research B 261

      Pages: 647-650

    • Peer Reviewed
  • [Journal Article] Surface processing with high-energy gas cluster ion beams2007

    • Author(s)
      T. Seki, J. Matsuo
    • Journal Title

      Surface and Coatings Technology 201(19-20 SPEC.ISS.)

      Pages: 8646-8649

    • Peer Reviewed
  • [Journal Article] High-speed processing with high-energy SF_6 cluster ion beam2007

    • Author(s)
      T. Seki, J. Matsuo
    • Journal Title

      Nuclear Instruments and Methods in Physics Research B 257

      Pages: 666-669

    • Peer Reviewed
  • [Journal Article] High-Speed Nano-Processing with Cluster Ion Beams2006

    • Author(s)
      T. Seki and J. Matsuo,
    • Journal Title

      AIP Conf. Proc. 866

      Pages: 214-217

    • Peer Reviewed
  • [Presentation] 塩素ガスクラスターイオンビームによるスパッタ率のクラスターサイズ依存性2009

    • Author(s)
      瀬木利夫、青木学聡、松尾二郎
    • Organizer
      2008年春季第56回応用物理学関係連合講演会
    • Place of Presentation
      筑波大学
    • Year and Date
      2009-03-30
  • [Presentation] Etching Characteristics with Ar-Cl_2 Gas Mixed Cluster Ion Beam2008

    • Author(s)
      T. Seki, T. Aoki and J. Matsuo
    • Organizer
      The IUMRS International Conference in Asia
    • Place of Presentation
      Nagoya Congress Center, Japan
    • Year and Date
      2008-12-11
  • [Presentation] 塩素ガスクラスターイオンビームによる高速加工2008

    • Author(s)
      瀬木利夫、青木学聡、松尾二郎
    • Organizer
      第9回京都大学大学院工学研究科附属量子理工学研究実験センター公開シンポジウム
    • Place of Presentation
      京都大学
    • Year and Date
      2008-10-17
  • [Presentation] High-speed processing with Cl_2 cluster ion beam2008

    • Author(s)
      T. Seki, T. Aoki and J. Matsuo
    • Organizer
      16th International Conference on Ion Beam Modification of Materials
    • Place of Presentation
      Dresden, Germany
    • Year and Date
      2008-09-03
  • [Presentation] Investigation of Damage with Cluster Ion Beam Irradiation2008

    • Author(s)
      T. Seki, T. Aoki and J. Matsuo
    • Organizer
      17th International Conference on Ion Implantation Technology
    • Place of Presentation
      California, USA
    • Year and Date
      2008-06-12
  • [Presentation] 塩素ガスクラスターイオンビームによる金属材料エッチング特性2008

    • Author(s)
      瀬木利夫、青木学聡、松尾二郎
    • Organizer
      2008年春季第55回応用物理学関係連合講演会
    • Place of Presentation
      日本大学 船橋キャンパス
    • Year and Date
      2008-03-29
  • [Presentation] Nano-processing with gas cluster ion beams2007

    • Author(s)
      T. Seki
    • Organizer
      15^<th> International Conference on Surface Modification of Materials by Ion Beams
    • Place of Presentation
      Mumbai, India
    • Year and Date
      20070930-1005
  • [Presentation] 塩素ガスクラスターイオンビームの生成2007

    • Author(s)
      瀬木利夫, 青木学聡, 松尾二郎
    • Organizer
      第68回応用物理学会学術講演会
    • Place of Presentation
      北海道工業大学
    • Year and Date
      20070904-08
  • [Presentation] High-Speed Nano-Processing with Cluster Ion Beams2007

    • Author(s)
      T. Seki, T. Aoki, J. Matsuo
    • Organizer
      MRS-J 2007 Symposium
    • Place of Presentation
      Tokyo, Japan
    • Year and Date
      2007-12-09
  • [Presentation] High-Speed Nano-Processing with Reactive Cluster Ion Beam2007

    • Author(s)
      T. Seki, T. Aoki and J. Matsuo
    • Organizer
      8th Workshop on Cluster Ion Beam Technology
    • Place of Presentation
      Tokyo, Japan
    • Year and Date
      2007-11-09
  • [Book] クラスターイオンビーム基礎と応用2006

    • Author(s)
      山田公
    • Total Pages
      25-51
    • Publisher
      日刊工業新聞社

URL: 

Published: 2010-06-10   Modified: 2016-04-21  

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