2020 Fiscal Year Annual Research Report
大面積メンブレン誘電体人工ナノ構造を用いた真空紫外円偏光波長変換技術の開拓
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18H01147
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| Research Institution | The University of Tokyo |
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Principal Investigator |
小西 邦昭 東京大学, 大学院理学系研究科(理学部), 助教 (60543072)
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| Project Period (FY) |
2018-04-01 – 2021-03-31
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| Keywords | フォトニック結晶 / 非線形光学 / 真空紫外光 / メタマテリアル |
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| Outline of Annual Research Achievements |
本研究で見出したフォトニック結晶ナノメンブレンからのコヒーレント真空紫外円偏光発生に関して、その発生する真空紫外光の高強度化が、実際の応用を考える上では重要な課題となる。これに対して本年度は、フォトニック結晶を作製する材料に新たな物質を導入することを試みた。具体的には、これまで用いていたγ-Al2O3メンブレンより高強度化が見込まれるSiO2を母材としたメンブレンを自作する技術を確立し、真空紫外光の発生を検証した。通常のSiO2薄膜はメンブレン化することによって圧縮応力が生じてしまい、シワシワになってしまうという問題が生じることが知られていた。この問題を解決するための方策として我々は、適切な温度でアニールを施すことが有効であることを見出し、この手法によってシワの生じないSiO2ナノメンブレンを作成する手法を確立した。さらに、そのメンブレンの形状観察を長期的に継続し、少なくとも半年以上にわたって、シワの無いメンブレン形状が保持されること確認した。
さらに、その自作したSiO2ナノメンブレンに対して、フォトニック結晶構造を作製するためのナノプロセス手法の開発を進めた。その結果、実際にSiO2フォトニック結晶ナノメンブレンを作製できるプロセスレシピを開発することに成功した。
これによって、SiO2というより汎用的な物質を用いて真空紫外コヒーレント光発生用の波長変換材料が作製できるようになるだけでなく、発生する真空紫外光強度の増大にもつながり、光源応用への可能性を高める結果であると言える。
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| Research Progress Status |
令和2年度が最終年度であるため、記入しない。
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| Strategy for Future Research Activity |
令和2年度が最終年度であるため、記入しない。
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Research Products
(9 results)
