2019 Fiscal Year Annual Research Report
二硫化モリブデンを用いた超高感度ピエゾ抵抗型のカンチレバーバイオセンサの開発
Project/Area Number |
18J12689
|
Research Institution | Tohoku University |
Principal Investigator |
朱 敏杰 東北大学, 工学研究科, 特別研究員(PD)
|
Project Period (FY) |
2018-04-25 – 2020-03-31
|
Keywords | バナジウムドープ二硫化モリブデン / 圧力センサ / トランジスタ / ピエゾ抵抗素子 |
Outline of Annual Research Achievements |
本年度は昨年度に成長した優れた電特性を持つバナジウム(V)ドープした二硫化モリブデン(MoS2)薄膜を用いて、高感度なピエゾ抵抗型の圧力センサを開発している。圧力センサの製作プロセスを確立した。まず、シリコンの上に窒化物を感圧膜として化学気相成長(CVD)により成膜した。MoS2薄膜はCVD法に成膜し、微細加工でピエゾ抵抗素子を作成した。リフトオフで金属膜を成膜してから、反応性イオンエッチングにより、シリコンをエッチングした。世界初のVドープしたMoS2薄膜を用いた圧力センサを製作した。VドープしたMoS2薄膜の電気特性をさらに知るために、VドープしたMoS2薄膜に基づく、トランジスタの製作プロセスを確立した。Vのドーピング量により、各種のトランジスタを実際に制作した。
|
Research Progress Status |
令和元年度が最終年度であるため、記入しない。
|
Strategy for Future Research Activity |
令和元年度が最終年度であるため、記入しない。
|