2008 Fiscal Year Final Research Report
Stabilized Temperature Characteristics, High-Speed Response, and Low-Voltage Driving of Micromirror
| Project/Area Number |
19016003
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| Research Category |
Grant-in-Aid for Scientific Research on Priority Areas
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| Allocation Type | Single-year Grants |
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| Review Section |
Science and Engineering
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| Research Institution | Toyota Technological Institute |
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Principal Investigator |
SASAKI Minoru Toyota Technological Institute, 工学部, 教授 (70282100)
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| Co-Investigator(Kenkyū-buntansha) |
MIURA Hideo 東北大学, 大学院・工学研究科, 教授 (90361112)
HANE Kazuhiro 東北大学, 大学院・工学研究科, 教授 (50164893)
KUMAGAI Shinya 豊田工業大学, 工学部, 准教授 (70333888)
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| Project Period (FY) |
2007 – 2008
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| Keywords | マイクロマシン / マイクロ・ナノデバイス / MEMSアクチュエータ / マイクロミラー / 静電駆動 / 温度補償 / 低電圧駆動 |
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| Research Abstract |
薄膜トーションバーにより、静電駆動型マイクロミラーの低電圧駆動を実現していたが、温度特性安定化と高速化が課題であった。これらに対し、以下の成果を得た。
(1)SiNに代わり、引張応力の大きい多結晶Siを得た。
(2)太鼓の革のような薄膜ミラーを作製し、平坦さと温度安定性を確認した。
(3)多結晶Siトーションバーを持つマイクロミラーが製作できた。
(4)低電圧駆動特性が温度に対し安定した。
(5)微弱な磁場を用いた無線駆動の展開を示した。
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