2007 Fiscal Year Annual Research Report
Dewettingによる大面積パターニング手法の構築
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19360021
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| Research Institution | Chitose Institute of Science and Technology |
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Principal Investigator |
OLAF Karthaus Chitose Institute of Science and Technology, 光科学部, 教授 (80261353)
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| Keywords | 高分子薄膜 / コーティング技術 / 大面積 / ポリスチレン / 有機トランジスター |
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| Research Abstract |
平成19年度の研究目的は「大面積ローラ装置」の作製とテストランだった。今回新たにステッピングモーター、台、金属フレームを除振台上に設置した。直径10mm〜100mmのガラスローラを固定できるホルダーを新規にデザイン・作製した。テストランにはポリスチレン溶液を利用した。様々なコーティングパラメーターの影響を調べるため実験を行い、次のような結果を得た。1)ローラ速度を上げる(10ミリ→30ミリ)とマイクロドームは小さくなる(2μm→0.5μm)。2)ローラの直径を増やす(10ミリ→50ミリ)とドームはより整然と配列する。3)使用可能な基板は雲母、親水性ガラス、ITOでコーティングしたPETフィルム、ITO上の導電性高分子のキャスト膜である。4)様々な溶媒(ジクロロメタン、ジクロロエタン、クロロフォルム、テトラヒドロフラン、酢酸エチール、メティルエティルケトン、ベンゼン、トルエン)を利用し、ポリスチレンをディウェッティングすることができた。5)ローラと基板の間のギャップは0.2mm〜2mm。0.4mmまでのギャップの間の溶液量は少ないため、キャスティング中でシリンジポンプを利用して溶液を加えることが必要である。
また、そのほか、低分子のディウェッティングの可能性についても実験で確認した。ペンタセンなどの有機半導体材料を用い、有機FETの作製にも成功した。ボトムコンタクト型のトランジスタの移動度が0.1cm^2/Vsと高いことをつきとめた。
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