2008 Fiscal Year Final Research Report
Development of a high-resolution laser-THz-emission-microscope
| Project/Area Number |
19360161
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| Research Category |
Grant-in-Aid for Scientific Research (B)
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| Allocation Type | Single-year Grants |
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| Section | 一般 |
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| Research Field |
Electron device/Electronic equipment
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| Research Institution | Osaka University |
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Principal Investigator |
TONOUCHI Masayoshi Osaka University, レーザーエネルギー学研究センター, 教授 (40207593)
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| Co-Investigator(Kenkyū-buntansha) |
MURAKAMI Hironaru 大阪大学, レーザーエネルギー学研究センター, 准教授 (30219901)
KAWAYAMA Iwao 大阪大学, レーザーエネルギー学研究センター, 助教 (10332264)
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| Project Period (FY) |
2007 – 2008
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| Keywords | テラヘルツ / フェムト秒レーザー / 顕微鏡 |
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| Research Abstract |
システム開発においては、固浸レンズやガルバノスキャナーを用いた新規なレーザーテラルツエミッション顕微鏡を構築し、空間分解能1μm以下でかつスキャン時間が数秒であといった高分解能かつ高速性能を持つことを確認した。また、このシステムを用が、半導体集積回路の欠陥検査等に有効であることを示した。一方、強誘電体からのテラヘルツ放射を、結晶構造および配向制御した薄膜を用いて系統的に観測し、そのメカニズムを明らかにした。
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Research Products
(18 results)
