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2007 Fiscal Year Annual Research Report

弾性表面波デバイスを用いた薄膜作成法の基礎研究

Research Project

Project/Area Number 19656201
Research Category

Grant-in-Aid for Exploratory Research

Research InstitutionShizuoka University

Principal Investigator

近藤 淳  Shizuoka University, 創造科学技術大学院, 准教授 (10293606)

Co-Investigator(Kenkyū-buntansha) 杉本 光範  静岡大学, 電子工学研究所, 助教 (00113134)
Keywords弾性表面波(SAW) / 非線形現象 / SAWストリーミング / 霧化現象 / 薄膜作成 / 霧化のメカニズム
Research Abstract

本年度は,薄膜作成のための最適条件を見いだすため,購入したハイスピードディジタルカメラにより霧化現象メカニズムについて観察を行った。
これまで,安定した霧化現象を起こすには,弾性表面波(SAW)デバイスへの印可電圧が30V_<p-p>以上かつSAW伝搬面に薄い液膜をもうける必要があると考えてきた。このため,湿らせた濾紙を用いてきた。ハイスピードカメラによる観察の結果,霧化が生じているのは濾紙からしみ出した部分であることを明らかにすることができた。そこで,1μ1以下の液滴をSAW伝搬面上にのせて観察を行った。印可電圧が33V_<p-p>の場合,SAW印可から5ms秒後に液滴飛翔現象が生じた。液量が少なくなった15ms秒後に,飛翔から霧化になることが分かった。霧化は数十μm以下の薄い液膜からのみ生じることが明らかになったので,予め薄い液膜をもうければ低電力霧化が可能と考え,電圧依存性を調べた。得られた結果より,4.1V_<p.p>という従来よりも低い電圧で霧化が発生していることが明らかになった。霧化発生効率は電圧低下により低くなる。しかし,低電圧であるほど液体の温度上昇は少ない。薄膜作成に用いる材料により最適な電圧を選べばいいことをこの結果は示唆している。さらに,霧化のメカニズムを調べるため,入出力電圧について調べた結果,従来,霧化のメカニズムとして考えてきたSAWストリーミング以外の力も寄与している可能性が強いことを明らかにした。

  • Research Products

    (5 results)

All 2008 2007

All Journal Article (2 results) (of which Peer Reviewed: 1 results) Presentation (3 results)

  • [Journal Article] Deposition of Thin Film Using a Surface Acoustic Wave Device2007

    • Author(s)
      N.Murochi, et. al.
    • Journal Title

      Jpn.J.Appl.Phys. 46

      Pages: 4754-4759

    • Peer Reviewed
  • [Journal Article] 弾性表面波素子を用いた薄膜作成2007

    • Author(s)
      近藤 淳, 室地 伸昭
    • Journal Title

      超音波テクノ 19

      Pages: 66-69

  • [Presentation] 弾性表面波を用いた液体霧化現象のメカニズムの検討2008

    • Author(s)
      宮田 純一
    • Organizer
      2008年春季第55回応用物理学関係連合講演会
    • Place of Presentation
      日本大学習志野キャンパス
    • Year and Date
      2008-03-29
  • [Presentation] SAWストリーミング現象の実験的検討2008

    • Author(s)
      近藤 淳
    • Organizer
      圧電材料・デバイスシンポジウム2008
    • Place of Presentation
      東北大学
    • Year and Date
      2008-01-24
  • [Presentation] 弾性表面波素子を用いた薄膜作成の検討2007

    • Author(s)
      近藤 淳
    • Organizer
      第68回応用物理学会学術講演会
    • Place of Presentation
      北海道工業大学
    • Year and Date
      2007-09-05

URL: 

Published: 2010-02-04   Modified: 2016-04-21  

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