2008 Fiscal Year Annual Research Report
コードブックパターン情報処理に基づく物体形状分離認識技術の研究
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19700081
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| Research Institution | Tohoku University |
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Principal Investigator |
譽田 正宏 Tohoku University, 未来科学技術共同研究センター, 助教 (80361202)
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| Keywords | ベクトル量子化 / アルゴリズム / 形状認識 |
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| Research Abstract |
本年度は、昨年度に引き続き画像から形状の認識を実現するために、形状の特徴量抽出技術及び抽出された特徴からの形状認識技術の研究を行った。アプリケーション例として、原子オーダで平坦化されたシリコン表面を原子間力顕微鏡(AFM)で測定した画像から原子ステップとテラスを形状認識し分離するアルゴリズムについて研究を実施した。
測定された原子オーダ平坦化ウェハの表面画像データから3×3画素のマクロブロックを抽出し、45度刻みの方向を考慮したコードブックパターンを用いて一致度を計算し、最大強度を示すパターンを選択する。選択されたコードブックパターンのサイズを3×3画素から5×5、7×7、9×9、11×11まで順次拡大することにより、最少ブロック(3×3画素)から周辺の輝度情報を考慮しながら、ブロックの輝度変化方向を抽出することが可能となった。輝度変化方向を考慮したサイズ可変のコードブックパターンにより抽出されたエッジ候補画素について、近接画素が互いにエッジ候補であれば同じグループに属するといった判断を行う。さらに、グループ間の相関性を演算することにより同一グループに属するかを判断する。グループ間の相関を演算する際には、一つのグループの特徴を表す特徴量として、"方向"・"大きさ"・"形状"が重要であり、これらを用いエッジ候補のグループ間で相関演算を行うことが、エッジを特定し形状を認識するには有効である。これらアルゴリズムを用いることにより、原子間力顕微鏡を用いて測定された画像から原子ステップとテラスを形状認識するため基本技術が確立したと考えられる。
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Research Products
(2 results)
