2007 Fiscal Year Annual Research Report
高分子テンプレートを用いた多孔質セラミックマイクロパターンの合成
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19760471
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| Research Institution | National Institute for Materials Science |
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Principal Investigator |
齋藤 紀子 National Institute for Materials Science, センサ材料センター, 主任研究員 (20354417)
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| Keywords | 酸化物セラミックス / 交互吸着法 / 高分子電解質 |
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| Research Abstract |
ナノ構造高分子と、セラミックスの溶液中析出・自己組織化を組み合わせて、酸化物セラミックス微細構造体のビルドアップ構築法の開発を目指し、高分子テンプレートの合成と、そこでのセラミックス析出の条件を探索した。
まず、セラミックスの析出反応場として用いるための高分子テンプレートの合成を行った。2種のカチオン、アニオン高分子電解質水溶液に基板を交互に浸すことによって多層膜を製膜できる交互吸着法により、高分子電解質多層膜を作製した。高分子電解質には、弱塩基・弱酸である、linear poly (ethylene-imine)、poly (acrylic-acid)等の試薬を選択した。この多層膜をパターン成長させるために、高分子の吸着を妨げる官能基を持つブロック共重合体をレジストとして試みた。合成した高分子薄膜は、SEM,AFMによる微構造観察、水晶振動子を用いた析出量測定などの手法でキャラクタリゼーションを行った。
また、高分子テンプレート上に析出させる、酸化亜鉛、酸化チタン等の酸化物セラミックスを水溶液から析出させる合成条件について検討した。硝酸亜鉛とジメチルアミンボラン水溶液に、Pdを蒸着した基板を浸漬して加熱し、水溶液中で酸化亜鉛薄膜を析出させた。析出させた酸化亜鉛は、SEM,AFMによる微構造観察、水晶振動子を用いた析出量測定、二次イオン質量分析によってキャラクタリゼーションを行って析出過程を追い、合成条件の最適化と析出・成長メカニズムの解明を行った。
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