フォトレジスト廃液からの水酸化テトラアルキルアンモニウムの分離回収プロセスの開発

2007 Fiscal Year Annual Research Report

• Project/Area Number: 19760530
• Research Institution: The University of Kitakyushu
• Principal Investigator: 西浜 章平 The University of Kitakyushu, 国際環境工学部, 講師 (00347668)
• Keywords: ゼオライト / 水酸化テトラアルキルアンモニウム / 吸着

Research Abstract

本研究では,吸着法を用いた,フォトレジスト廃液からの水酸化テトラアルキルアンモニウムの低コストかつ省スペースな分離・回収プロセスについて,パイプエンドで廃水処理が可能なシステムを確立することを目的として研究を進めている。平成19年度では,水酸化テトラメチルアンモニウムの選択的な吸着が可能なゼオライト吸着剤について検討を進めた。具体的にはゼオライトAおよびXを調製し,水酸化テトラメチルアンモニウムの吸着特性を評価した。これらのゼオライトのカウンターカチオンをナトリウムからカルシウムやストロンチウムなどの2価のカチオンに交換したところ,水酸化テトラメチルアンモニウムの吸着容量が飛躍的に増大した。そこで,これらのゼオライトのキャラクタリゼーションを行った結果,カウンターカチオンの交換により細孔径が大きくなったことが示唆された。即ち,水酸化テトラメチルアンモニウムの吸着容量とゼオライトの細孔径に相関関係があり,細孔径が大きなゼオライトの場合に効果的に水酸化テトラメチルアンモニウムを吸着可能であった。加えて,全てのゼオライトにおいて,高pH領域で吸着容量が高いことが示され,水酸化テトラメチルアンモニウム廃液への適用が可能であることが示唆された。また,吸着等温実験を行った結果,水酸化テトラメチルアンモニウムの吸着がラングミュア型により進行していることが明らかとなり,化学反応を介した吸着メカニズムであることが強く示唆された。